[实用新型]一种排气管道

说明书

技术领域

本实用新型涉及气体冷凝技术领域，尤其涉及一种排气管道。

背景技术

随着九十年代薄膜场效应晶体管-液晶显示器(Thin Film Transistor-Liquid Crystal Display，简称TFT-LCD)技术的成熟，液晶显示面板由于其平板、轻薄、低功耗、多样化、环保性等优点得到迅速发展。随着玻璃基板大型化，为保证产品的合格率，各步工艺的均一性面临更大挑战。清洗、湿刻及剥离是TFT-LCD工艺中三个重要环节。清洗是对投入的以及成膜前的玻璃进行清洗用以去除各种影响品质的颗粒；湿刻是利用混合酸液对玻璃表面光刻未覆盖的金属进行刻蚀，从而形成所需要的金属图案；剥离是利用剥离液对玻璃上的未被显影的光刻胶进行去除。

在实际工艺过程中，设备反应单元均安装排气管道用以对反应区间挥发的气体进行冷凝回收，目的为减少生产事故，提高产品品质，降低成本。在实际应用中，排气管道的形状以及内部结构对冷凝的效果以及成本的控制有很大的关联。现有的排气管道的结构简单，排气管道内部全部为空心，只靠管道外的空气进行冷凝，因此冷凝效果较差。冷凝回流的液体直接通过排气管道进入废气管道。这样，药液的使用效率较低，同时不利于成本的降低。

实用新型内容

本实用新型的实施例提供一种排气管道，提高了产品品质，同时降低了生产成本。

为达到上述目的，本实用新型的实施例采用如下技术方案：

第一方面，提供一种排气管道，包括：一水平设置的进气管、一水平设置的出气管、一非水平设置的第一中间管和一非水平设置的第二中间管，其中：

所述进气管的非进气端通过侧管与底管连通；所述底管与所述第一中间管的下端连通；

所述第一中间管的上端通过顶管与所述第二中间管的上端连通；

所述第二中间管的下端通过侧管与底管连通；所述底管与所述出气管的非出气端连通。

可选的，所述排气管道还包括：一非水平设置的第一直管和一非水平设置的第二直管，其中：

所述第一直管的上端通过侧管与所述进气管的非进气端连通，所述第一直管的下端通过底管与所述第一中间管的下端连通；

所述第二直管的上端通过侧管与所述出气管的非出气端连通，所述第二直管的下端通过底管与所述第二中间管的下端连通。

可选的，所述排气管道具有至少两个第一中间管和至少两个第二中间管；

所述第一中间管与所述第二中间管之间通过至少一个所述底管或至少一个所述顶管连通。

可选的，所述底管的下端设置有接口。

可选的，所述第一直管的下端、所述第一中间管的下端、所述第二中间管的下端、所述第二直管的下端、所述第一直管的上端、所述第二直管的上端、所述第一中间管的上端和所述第二中间管的上端设置有接口。

可选的，所述第一中间管、所述第二中间管、所述第一直管和所述第二直管的内部均设置有N个细直管；

所述细直管之间的空隙的上端和下端密封；其中，N为正整数。

可选的，所述第一中间管、所述第二中间管、所述第一直管和所述第二直管用于进气的一端设置成凹形曲面；

所述第一中间管、所述第二中间管、所述第一直管和所述第二直管用于出气的一端设置成平面。

可选的，所述细直管之间的空隙中装有冷凝剂。

可选的，所述第一中间管的长度大于所述第一直管、所述第二直管的长度；

所述第二中间管的长度大于所述第一直管、所述第二直管的长度。

可选的，所述出气管上设置有压力调节阀。

本实用新型的实施例提供的排气管道，通过将排气管道采用多个弯管式的走向设计，提高了产品品质，同时降低了生产成本。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型的实施例提供的一种排气管道的结构示意图；

图2为本实用新型的实施例提供的另一种排气管道的结构示意图；

图3为本实用新型的实施例提供的又一种排气管道的结构示意图；

图4为本实用新型的另一实施例提供的一种排气管道的结构示意图；

图5为本实用新型的实施例提供的一种排气管道的第一直管、第二直管、第一中间管和第二中间管的进气端的侧面图；