[实用新型]一体型气相掺杂装置有效
| 申请号： | 201320275201.3 | 申请日： | 2013-05-20 |
| 公开（公告）号： | CN203307477U | 公开（公告）日： | 2013-11-27 |
| 发明（设计）人： | 令狐铁兵;张明亮;高林育;仝泉 | 申请（专利权）人： | 洛阳单晶硅有限责任公司 |
| 主分类号： | C30B15/04 | 分类号： | C30B15/04;C30B29/06 |
| 代理公司： | 洛阳明律专利代理事务所 41118 | 代理人： | 卢洪方 |
| 地址： | 471009 河*** | 国省代码： | 河南;41 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 体型 掺杂 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一体型气相掺杂装置，其特征是：所述的一体型气相掺杂装置主要是由上部挂件（1）、中部空腔（2）、掺杂导管（5）、石英罩（7）构成；其中上部挂件（1）设置在中部空腔（2）的上端与单晶炉上轴连接，掺杂导管（5）的上部设置在中部空腔（2）内，下部连接有石英罩（7）。
2.根据权利要求1所述的一体型气相掺杂装置，其特征是：掺杂导管（5）的上端口为细口型，下端底部为喇叭口型。
3.根据权利要求1所述的一体型气相掺杂装置，其特征是：掺杂导管（5）的下部与石英罩（7）内侧的位置上对称开有两个导气孔（6）。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于洛阳单晶硅有限责任公司，未经洛阳单晶硅有限责任公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201320275201.3/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种组合柱状圆孔糙类检测装置
- 下一篇：一种电镀用挂具
