[实用新型]一种石英坩埚的检测装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种石英坩埚的检测装置。

背景技术

目前，在直拉单晶硅生产过程中，石英坩埚是单晶炉中的一种非常重要的部件，如有气泡或者裂纹等，在单晶炉升温后就会出现漏硅现象，就会整炉材料报废，造成重大的经济损失。

发明内容

本实用新型的目的是提供能方便、快捷检测气泡或裂纹的一种石英坩埚的检测装置。

本实用新型采取的技术方案是：一种石英坩埚的检测装置，包括光源、支撑台板、轴承、中心轴和底座，其特征在于中心轴的一端垂直竖立在底座上，中心轴的另一端连接有支撑台板，支撑台板通过轴承可围绕中心轴旋转，在支撑台板的中心处设置有光源。

采用本实用新型，可以将石英坩埚放置在支撑台板，光源通电打开后就可以边旋转支撑台板边检测石英坩埚是否有气泡或者裂纹，既方便又快捷。

附图说明

图1为本实用新型的示意图。

图中的序号表示：光源1、支撑台板2、轴承3、中心轴4和底座5。

 具体实施方式

下面结合具体的实施例对本实用新型作进一步说明。

参照图1，该石英坩埚的检测装置包括光源1、支撑台板2、轴承3、中心轴4和底座5，中心轴4的一端垂直竖立在底座5上，中心轴4的另一端连接有支撑台板2，支撑台板2通过轴承3可围绕中心轴4旋转，在支撑台板2的中心处设置有光源1。使用时，可以将石英坩埚放置在支撑台板2，光源1通电打开后就可以边旋转支撑台板2边检测石英坩埚是否有气泡或者裂纹，既方便又快捷。