[实用新型]节能型泡生法蓝宝石长晶炉热场结构有效
申请号: | 201320274360.1 | 申请日: | 2013-05-20 |
公开(公告)号: | CN203462168U | 公开(公告)日: | 2014-03-05 |
发明(设计)人: | 张向锋;贾宝申;王凌晖;江左林;高培波;赵杰 | 申请(专利权)人: | 无锡鼎晶光电科技有限公司 |
主分类号: | C30B17/00 | 分类号: | C30B17/00;C30B29/20 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 214000 江苏省无*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 节能型 泡生法 蓝宝石 长晶炉热场 结构 | ||
1.一种节能型泡生法蓝宝石长晶炉热场结构,包括不锈钢桶和置于其内部的内保温桶,在内保温桶的内腔中设置鸟笼式发热体,在鸟笼式发热体的下方设置下隔热屏,在鸟笼式发热体的内腔中设置坩埚,该坩埚由底部的坩埚支撑结构支撑;在所述坩埚上端设置坩埚盖,在坩埚盖上放置上隔热屏,其特征在于:所述内保温桶与不锈钢桶的侧部和底部之间均采用氧化锆纤维板作为保温层。
2.根据权利要求1所述的节能型泡生法蓝宝石长晶炉热场结构,其特征在于:氧化锆纤维板共设有3层。
3.根据权利要求1所述的节能型泡生法蓝宝石长晶炉热场结构,其特征在于:所述内保温桶的厚度为1-2mm。
4.根据权利要求1所述的节能型泡生法蓝宝石长晶炉热场结构,其特征在于:所述坩埚支撑结构包括坩埚托盘和钨支柱,坩埚托盘置于钨支柱之上,坩埚托盘与坩埚的底部接触,在坩埚托盘与坩埚的接触部分设置氧化锆涂层。
5.根据权利要求4所述的节能型泡生法蓝宝石长晶炉热场结构,其特征在于:所述钨支柱的内径为50mm、外径为80mm。
6.根据权利要求1所述的节能型泡生法蓝宝石长晶炉热场结构,其特征在于:所述坩埚盖由多层厚度为1mm的钨片组成。
7.根据权利要求1所述的节能型泡生法蓝宝石长晶炉热场结构,其特征在于:所述上隔热屏由5-8片厚度为1mm的钼片组成。
8.根据权利要求1所述的节能型泡生法蓝宝石长晶炉热场结构,其特征在于:所述下隔热屏由8-10片厚度为1mm的钨片组成。
9.根据权利要求1所述的节能型泡生法蓝宝石长晶炉热场结构,其特征在于:所述内保温桶由上中下三段铆接而成,中段由钨材料制成,上下两段由钼材料制成;
10.根据权利要求1所述的节能型泡生法蓝宝石长晶炉热场结构,其特征在于:所述不锈钢桶由厚度为1mm的不锈钢板制成,不锈钢桶内壁与侧部的氧化锆纤维保温层外壁之间的距离为10-20mm。
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