[实用新型]一种用于废气处理装置中的管道

说明书

技术领域

本实用新型涉及废气处理技术领域，尤其涉及一种用于废气处理装置中的管道。

背景技术

在半导体制造行业中，利用不同气体之间反应生成固态半导体薄膜的工序是形成TFT的关键步骤。通常的做法是在真空环境下对多种反应气体施以高温和高频电压，反应气体之间发生化学反应能够生成固态半导体薄膜，再使该薄膜沉积在玻璃基板的表面。在生成固态半导体薄膜的工序中，反应腔体内会残留一些气体成为废气，因此，需要废气处理装置将这些废气抽走并处理掉。

图1为一种废气处理装置的结构示意图。该废气处理装置包括管道13、与管道13一端连通的真空泵11、与管道13另一端连通的废气处理单元12。其中，真空泵11可以将反应腔体(图中未示出)内的废气不断的抽走，以使反应腔室形成真空环境。废气由真空泵11的气体出口111流入管道13，最后经由废气处理单元12的气体入口121到达废气处理单元12。

上述废气处理过程中，废气会在管道13中短暂停留，并且，在管道13中的废气会随着管道13内温度的逐渐降低由气态固化成固态，形成固体异物，尤其是在内径较小的、弯曲的管道13中，废气更容易固化形成固体异物，造成废气流经的管道13被固体异物阻塞。

实用新型内容

本实用新型的实施例提供一种用于废气处理装置中的管道，解决了废气流经的管道容易被固体异物阻塞的问题。

为达到上述目的，本实用新型的实施例采用如下技术方案：

一种用于废气处理装置中的管道，所述管道为双壁管，所述双壁管从外向里依次为外壁和内壁，由所述内壁和外壁形成夹层，由所述内壁形成内腔；夹层中设有液体介质，待处理的废气从内腔通过。

优选地，所述双壁管的截面为圆环形。

其中，所述夹层中设有加热单元，用于加热所述液体介质。

优选地，所述液体介质的沸点大于或等于130摄氏度。

其中，所述加热单元为电阻丝。

其中，所述的用于废气处理装置中的管道，还包括第一导通阀和第二导通阀，所述第一导通阀设于所述双壁管与真空泵之间，所述第二导通阀设于所述双壁管与废气处理单元之间。

优选地，所述第一导通阀和第二导通阀均为三相导通阀；

当所述双壁管的内腔畅通时，所述第一导通阀和所述第二导通阀用于将所述真空泵、双壁管、废气处理单元连通；

当所述双壁管的内腔被固体异物阻塞时，所述第一导通阀用于切断所述真空泵与所述双壁管之间的废气通路，使双壁管与第一导通阀的液体出口连通；所述第二导通阀用于切断所述双壁管与所述废气处理单元之间的废气通路，使双壁管与第二导通阀的液体进口连通。

其中，所述液体介质中设有温度传感器，用于检测所述液体介质的温度。

优选地，所述内腔设有压力传感器，用于检测所述内腔中废气的压力。

本实用新型实施例提供的用于废气处理装置中的管道中，由于液体介质位于夹层中，因此可以令液体介质处于一定的温度，处于一定温度的液体介质能够对内壁以及处于内腔中的废气加热，以使内腔中的废气达到一定的、较难由气态固化成固态温度，在该温度下废气较难固化形成固体异物附着在内腔的内表面，从而避免废气流经的双壁管的内腔被固体异物阻塞。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍。

图1为现有技术中的废气处理装置的结构示意图；

图2为本实用新型实施例提供的一种用于废气处理装置中的管道的剖面结构示意图；

图3为本实用新型实施例提供的又一种用于废气处理装置中的管道的结构示意图；

图4为本实用新型实施例提供的再一种用于废气处理装置中的管道的结构示意图。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。

本实用新型实施例提供了一种用于废气处理中的管道，如图2所示，管道为双壁管21，双壁管21从外向里依次为外壁211和内壁212，由内壁211和外壁212形成夹层213，由内壁211形成内腔214；夹层213中设有液体介质22，待处理的废气从内腔214通过。

当使用该用于废气处理中的管道处理废气时，该双壁管21一端可以与真空泵23连通，另一端可以与废气处理单元24连通，废气流经双壁管21的内腔214。