[实用新型]材料分压放气率测量装置有效
| 申请号： | 201320268410.5 | 申请日： | 2013-05-16 |
| 公开（公告）号： | CN203310715U | 公开（公告）日： | 2013-11-27 |
| 发明（设计）人： | 王魁波;吴晓斌;王宇;陈进新;罗艳;谢婉露;张罗莎 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电研究院 |
| 主分类号： | G01N7/14 | 分类号： | G01N7/14 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 宋焰琴 |
| 地址： | 100094*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 材料 放气 测量 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种材料分压放气率测量装置，包括抽气泵组（1）、超高真空室（2）和样品室（9），所述抽气泵组（1）与超高真空室（2）直接连接，用于对所述超高真空室（2）抽真空，所述样品室（9）用于放置样品（10）；其特征在于：所述材料分压放气率测量装置还包括：
测试室（6），其通过小孔（5）与所述超高真空室（2）连接；
第一质谱计（3）和第二质谱计（4），其分别与所述超高真空室（2）和测试室（6）相连接；
第一角阀（7）和第二角阀（8），所述超高真空室（2）和所述测试室（6）分别通过所述第一角阀（7）和第二角阀（8）与所述样品室（9）相连接。
2.如权利要求1所述的材料分压放气率测量装置，其特征在于：所述小孔的孔径为5.7mm～14.0mm。
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