[实用新型]半导体陶瓷电容器还原烧成炉

说明书

技术领域

本实用新型涉及烧结设备，具体涉及一种半导体陶瓷电容器还原烧成炉。

背景技术

现有的用于烧成半导体陶瓷电容器的还原烧成炉，如钟罩炉，只能间歇式使用，也就是说，将半导体陶瓷电容器生坯分批放入还原烧成炉（如钟罩炉）中进行烧结，上一批半导体陶瓷电容器生坯完成烧结并取出后，再将下一批半导体陶瓷电容器生坯放入还原烧成炉中进行烧结。这种间歇式使用方式由于需要反复的升温、降温，因此一方面生产周期较长，生产效率较低，难以满足大批量生产的使用要求，另一方面损失较多热能，能耗较大。

发明内容

本实用新型所要解决的技术问题是提供一种半导体陶瓷电容器还原烧成炉，这种半导体陶瓷电容器还原烧成炉能够连续式使用，生产效率高，能够满足大批量生产的使用要求，且能耗较低。采用的技术方案如下：

一种半导体陶瓷电容器还原烧成炉，包括炉体和炉膛，炉膛安装在炉体上，其特征是：所述炉膛包括炉管，炉管沿水平方向设置，炉管由自前至后依次相连接的炉管前段、炉管中段和炉管后段组成，炉管中段处在炉体的腔体内，炉管前段和炉管后段处于炉体外；炉管中段的外壁上绕有钼丝；炉管前段的前端设有炉管入口，炉管入口处设有入口炉门和第一火帘；炉管后段的后端设有炉管出口，炉管出口处设有出口炉门和第二火帘；所述半导体陶瓷电容器还原烧成炉还包括能够为炉体腔体、炉管腔体、第一火帘和第二火帘提供氮氢混合气体的氮氢混合气体供给装置。

上述氮氢混合气体供给装置为炉管的腔体提供氮氢混合气体，使炉管内的半导体陶瓷电容器生坯在氮氢混合气体保护下的还原气氛中烧结；上述氮氢混合气体供给装置为炉体的腔体提供氮氢混合气体，使烧结过程中炉体内充满氮氢混合气体，可起到保护钼丝的作用；上述氮氢混合气体供给装置还可为第一火帘和第二火帘提供燃烧所需的氮氢混合气体，点燃后形成火帘密封（其中起燃烧作用的是氢气），在打开入口炉门或出口炉门的情况下能够防止外界空气进入炉管，以保护炉管内的还原气氛，并防止炉管内发生爆炸，确保使用的安全性。

上述绕在炉管中段外壁上的钼丝作为加热元件，能够对炉管加热，使炉管内部达到烧结所需温度。对半导体陶瓷电容器生坯进行烧结时，炉管内通入氮氢混合气体，半导体陶瓷电容器生坯自炉管入口进入炉管，在氮氢混合气体保护下进行烧结，完成烧结后自炉管出口移出炉管。正常烧结过程中，入口炉门将炉管入口封闭，出口炉门将炉管出口封闭。当需要打开入口炉门时，在打开入口炉门前先启动第一火帘，第一火帘通入氮氢混合气体并点燃，对炉管入口形成火帘密封；需要关闭入口炉门时，在关闭入口炉门后再关闭第一火帘。同样，当需要打开出口炉门时，在打开出口炉门前先启动第二火帘，第二火帘通入氮氢混合气体并点燃，对炉管出口形成火帘密封；需要关闭出口炉门时，在关闭出口炉门后再关闭第二火帘。

一具体方案中，上述炉体包括由钢铁制成的外壳和由刚玉莫来石耐火砖构成的保温层，保温层设于外壳的内壁上，炉体的腔体由保温层围成。进一步，可在保温层与炉管中段之间填充石英砂，石英砂可对炉管起到辅助支撑作用，并提高炉体的保温性能。

上述炉管可采用陶瓷材料制成（炉管前段、炉管中段和炉管后段一体连接）。

一种优选方案中，为防止钼丝移位而造成短路，上述炉管中段的外壁上设有多个沿炉管周向均布的凸起块列，每个凸起块列包括多个沿炉管长度方向均匀排列的凸起块；在钼丝与凸起块列交叉的部位，钼丝处在该凸起块列中相邻两个凸起块之间，由这两个凸起块对钼丝进行限位。另一种优选方案中，为防止钼丝移位而造成短路，上述炉管中段的外壁上设有螺旋状沟槽，缠绕钼丝时，钼丝处在螺旋状沟槽中，由螺旋状沟槽对钼丝进行定位。

优选方案中，上述炉管底部的内表面上设有前后走向的导轨，进行烧结时通常将半导体陶瓷电容器生坯装载在托板上，装载有半导体陶瓷电容器生坯的托板置于导轨上，托板可沿导轨自前至后移动。上述导轨通常与炉管制成一体；上述导轨也可铺设在炉管底部的内表面上。另外，可在炉管前方设置推送机构，推送机构能够将装载有半导体陶瓷电容器生坯的托板送入炉管，并推动装载有半导体陶瓷电容器生坯的托板在炉管中自前至后移动。

优选方案中，上述炉管前段上设有防爆窗，防爆窗上安装有薄膜防爆器。正常使用时，薄膜防爆器使防爆窗保持密封；当炉管内的压力超过一定限度时，薄膜防爆器的薄膜（一般采用铝膜）破裂，以降低炉管内的压力，保护炉管不受破坏。

优选方案中，上述炉管中段上设有热电偶，热电偶可伸入炉管腔体中，用于检测炉管内部的温度。