[实用新型]表面翘曲测量板以及翘曲测量装置有效
申请号: | 201320259541.7 | 申请日: | 2013-05-14 |
公开(公告)号: | CN203349789U | 公开(公告)日: | 2013-12-18 |
发明(设计)人: | 金秉胄 | 申请(专利权)人: | 三星显示有限公司 |
主分类号: | G01B11/16 | 分类号: | G01B11/16 |
代理公司: | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人: | 韩明星;邱玲 |
地址: | 韩国京畿*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 表面 测量 以及 装置 | ||
技术领域
本实用新型涉及一种表面翘曲测量板(warpage measurement surface plate)以及一种翘曲测量装置。更具体地说,本实用新型涉及一种用于测量将要测量的目标(诸如玻璃等)的翘曲度的表面翘曲测量板以及一种翘曲测量装置。
背景技术
显示装置是一种显示图像的装置,平板显示装置(诸如有机发光二极管(OLED)显示器和液晶显示器(LCD))包括板(诸如玻璃)作为基板。
在使用板作为显示装置的基板之前,执行板的翘曲测量,在将板安装到具有平坦表面的表面测量板之后,利用包括对板的翘曲进行测量的诸如激光或CCD的测量工具的测量单元来执行用于对板的翘曲进行测量的工艺。
近来,随着显示装置尺寸的增加和厚度的减小,用作显示装置的基板的板的尺寸也在增加且厚度也在减小。
然而,由于板的尺寸增加并且板的厚度变薄,因此当将板安装到表面测量板或与表面测量板分开时,可能会将不期望的颗粒引入在表面测量板上,或者,因表面测量板和板之间发生的界面应力和静电而导致在表面测量板和板之间产生干扰,从而用于测量板的翘曲的时间增加,同时板会由于干扰被损坏。
在该背景技术部分公开的上述信息仅仅用于加强对所实用新型的背景的理解,因此其可能包含不构成对本领域普通技术人员来说在本国已知的现有技术的信息。
实用新型内容
本实用新型致力于提供一种减少作为将要被测量的目标的板的翘曲测量时间同时抑制对板的损坏的表面测量板以及一种翘曲测量装置。
本实用新型的一方面提供一种表面测量板,所述表面测量板包括:板部 分,具有平坦的表面;第一凹槽,从板部分的表面凹入并且沿第一方向延伸;第二凹槽,从板部分的表面凹入并且沿与第一方向交叉的第二方向延伸。
第一凹槽可以设置成多个,并且多个第一凹槽中的每个可以沿第二方向彼此间隔地设置,第二凹槽可以设置成多个,并且多个第二凹槽中的每个可以沿第一方向彼此间隔地设置。
第一凹槽和第二凹槽可以分别延伸到板部分的边缘。
第一凹槽和第二凹槽可以分别具有“V”形状的竖直横截面。
第一凹槽和第二凹槽中的每个的竖直横截面可以从板部分的表面以钝角弯曲然后延伸。
本实用新型的另一方面提供一种翘曲测量装置,所述翘曲测量装置包括:上面描述的表面测量板,将要被测量的目标安装到表面测量板,用以测量翘曲;测量单元,设置在表面测量板上并且测量目标的翘曲。
根据本实用新型的示例性实施例,提供了一种表面测量板和翘曲测量装置,所述表面测量板和翘曲测量装置能够缩短用于测量作为将要被测量的目标的板的翘曲的时间同时能够抑制对板的损坏。
附图说明
图1示出根据本实用新型的示例性实施例的翘曲测量装置。
图2示出图1中的“A”部分。
图3是沿图2中的III-III线截取的剖视图。
图4提供了对图3中示出的表面测量板的效果的描述。
具体实施方式
下文中将参照附图来更充分地描述本实用新型,附图中示出了本实用新型的示例性实施例。如本领域技术人员将认识到的,在全部不脱离本实用新型的精神或范围的情况下,可以以各种不同的方式修改所描述的实施例。
附图和描述本质上应被认为是说明性的而非限制性的。相同的标号在整个说明书中始终表示相同的元件。
此外,为了更好的理解和易于描述,附图中示出的元件的尺寸和厚度被任意地示出,并且本实用新型不必局限于此。
在附图中,为了清晰起见,层、膜、面板、区域等的厚度被夸大。此外, 在附图中,为了更好的理解和易于描述,局部夸大了层和区域的厚度。
另外,除非相反地明确地描述,否则词语“包含”和诸如“包括”的变形将被理解为意味着包括所阐述的元件,但是不排除任何其它元件。
在下文中将参照图1描述根据本实用新型的示例性实施例的翘曲测量装置。
图1示出根据本实用新型的示例性实施例的翘曲测量装置。
如图1中所示,根据本实用新型的示例性实施例的翘曲测量装置是一种对包括在平板显示装置(诸如有机发光二极管(OLED)显示器、液晶显示器(LCD)或等离子显示装置)中的将要测量的目标的翘曲度进行测量的装置,并且包括其上安装有目标的表面测量板100以及测量单元200。目标可以是板表面(诸如玻璃)。
测量单元200设置在表面测量板100上。
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