[实用新型]正压力可调的微纳米级粘滑惯性驱动平台

权利要求书

1.一种正压力可调的微纳米级粘滑惯性驱动平台，包括正压力可调的精密驱动单元和直线运动单元，其特征在于：所述精密驱动单元通过粘滑惯性原理实现微纳米级精密驱动，与工作台（12）之间的正压力通过手动精密平移台上的旋进手柄（1）调节；

所述精密驱动单元由手动精密平移台和精密压电驱动器组成；

所述手动精密平移台包括旋进手柄（1）、相互配合的平移台滑轨、滑块（2、3）和顶板（17），所述手动精密平移台固定设置在基座（15）上，所述旋进手柄（1）与柔性铰链（6）连接；

所述精密压电驱动器由柔性铰链（6）、驱动压电叠堆Ⅰ、Ⅱ（8、9)组成，所述驱动压电叠堆Ⅰ、Ⅱ（8、9)分别设置在柔性铰链（6）内，驱动压电叠堆Ⅰ（8）驱动柔性铰链（6）的伸长，驱动压电叠堆Ⅱ（9）驱动柔性铰链（6）压紧工作台（12），通过控制驱动压电叠堆Ⅰ、Ⅱ（8、9)之间的时序实现柔性铰链（6）和工作台（12）之间的粘滑运动，进而驱动工作台（12）步进式精密移动。

2.根据权利要求1所述的正压力可调的微纳米级粘滑惯性驱动平台，其特征在于：所述的工作台（12）基于粘滑惯性原理进行精密驱动。

3.根据权利要求1所述的正压力可调的微纳米级粘滑惯性驱动平台，其特征在于：所述的柔性铰链（6）与工作台（12）之间的接触正压力通过手动平移台的旋进手柄（1）调节。

4.根据权利要求1所述的正压力可调的微纳米级粘滑惯性驱动平台，其特征在于：所述的驱动压电叠堆Ⅰ、Ⅱ（8、9)采用形体可控面型的压电陶瓷叠堆PZT，其粘滑运动是通过对驱动压电叠堆Ⅰ、Ⅱ(8、9)控制电压的时序控制来实现。

5.根据权利要求1所述的正压力可调的微纳米级粘滑惯性驱动平台，其特征在于：所述的柔性铰链（6）进行载荷的传递。

6.根据权利要求1所述的正压力可调的微纳米级粘滑惯性驱动平台，其特征在于：所述的柔性铰链（6）上端与工作台（12）压紧部分为弧形结构。

7.根据权利要求1所述的正压力可调的微纳米级粘滑惯性驱动平台，其特征在于：所述的旋进手柄（1）为自锁式旋进手柄。

8.根据权利要求1所述的正压力可调的微纳米级粘滑惯性驱动平台，其特征在于：所述的平移台滑块（3）通过螺钉Ⅰ（4）与连接块（5）连接，柔性铰链（6）通过螺钉Ⅱ（7）与连接块（5）连接。

9.根据权利要求1所述的正压力可调的微纳米级粘滑惯性驱动平台，其特征在于：所述的工作台（12）通过螺钉Ⅲ（11）设置在滑块（10）上，所述滑块（10）与导轨（14）相互配合，所述导轨（14）通过螺钉Ⅳ（13）固定在基座（15）上。