[实用新型]一种等离子体放电装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种放电装置，尤其涉及的是一种等离子体多层放电装置。

背景技术

等离子体放电技术常用于材料的表面改性，其中等离子体放电装置的电极组件设计是其技术关键。常规放电装置一般采用单对电极放电，功能单一，电源和空间利用率低，且电极未采用电磁屏蔽设计，等离子体不能有效的集中，能量损失较大，这势必会影响到处理效果的有效性和重复性。多功能用途的等离子体多层放电装置可以较方便地实现高分子材料表面改性、纳米材料表面交联改性以及农作物种子激活，结构简单、操作方便、处理结果重复性好。

经对现有技术的文献检索发现，现有的文献主要集中在等离子体单层电极放电来进行材料的表面改性，且用途单一、电源和装置空间利用率低。在进一步的检索中，尚未发现关于多功能用途的等离子体多层放电装置的相关报道。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是：提供一种等离子体放电装置，能够极大的提高等离子体放电装置的电源使用率和并提高真空容器的空间利用率，从而提高等离子体处理材料的生产效率。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：一种等离子体放电装置，包含电源、真空容器和设置在真空容器内壁上的支架，放置在所述支架上的电极组件，所述电极组件由2个侧电极和至少1个中间电极所组成，所述中间电极为导电金属，所述侧电极分别由导电层、绝缘层和屏蔽金属层叠加而成。

进一步的，所述的导电层、绝缘层和屏蔽金属层分别由铜合金、聚四氟乙烯和不锈钢制成。

进一步的，所述的导电层的厚度为1mm，绝缘层的厚度为5mm，屏蔽金属层厚度为1mm；所述中间电极和侧电极的尺寸均为600mm×400mm，中间电极和侧电极之间的距离可调整，范围为20mm-50mm。

进一步的，所述电极组件由2个侧电极和1个中间电极组成。

进一步的，所述电极组件由2个侧电极和2个中间电极组成。

进一步的，所述电极组件由2个侧电极和3个中间电极组成。

本实用新型的有益效果是，解决了背景技术中存在的缺陷，采用上述技术方案后，等离子体放电装置的电源使用率和真空容器的空间利用率可以获得极大的提高，从而提高利用等离子体处理材料的效率。

附图说明

下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。

图1为本实用新型的结构示意图；

图2本实用新型的第一实施例；

图3本实用新型的第二实施例；

图4本实用新型的第三实施例；

图5侧电极的结构示意图；

图中：1.真空容器；2.射频电源系统；3.电极组件；31.侧电极；311.导电层；312.绝缘层；313.屏蔽金属层；32.中间电极；4.支架。

具体实施方式

现在结合附图和优选实施例对本实用新型作进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图，仅以示意方式说明本实用新型的基本结构，因此其仅显示与本实用新型有关的构成。

如图1～图2所示：一种等离子体放电装置，包含射频电源系统2、真空容器1和设置在真空容器1内壁上的支架4，放置在所述支架4上的电极组件3，所述电极组件3由2个侧电极31和至少1个中间电极32所组成，所述中间电极32为导电金属，所述侧电极31分别由导电层311、绝缘层312和屏蔽金属层313叠加而成。

进一步的，所述的导电层311、绝缘层312和屏蔽金属层313分别由铜合金、聚四氟乙烯和不锈钢制成。

进一步的，所述的导电层311的厚度为1mm，绝缘层312的厚度为5mm，屏蔽金属层313厚度为1mm；所述中间电极32和侧电极31的尺寸均为600mm×400mm，中间电极32和侧电极31之间的距离可调整，范围为20mm-50mm。

进一步的，所述电极组件3由2个侧电极31和1个中间电极32组成。

进一步的，所述电极组件3由2个侧电极31和2个中间电极32组成。

进一步的，所述电极组件3由2个侧电极31和3个中间电极32组成。

本实用新型的工作原理如下：真空容器1内部主要有电极组件3，电极组件3形成2对至4对电极，电极间可形成等离子体多层等离子体放电区，电极之间采用交叉并联后分别与射频电源相连接，以保证相邻二电极的极性相反。

以上说明书中描述的只是本实用新型的具体实施方式，各种举例说明不对本实用新型的实质内容构成限制，所属技术领域的普通技术人员在阅读了说明书后可以对以前所述的具体实施方式做修改或变形，而不背离实用新型的实质和范围。