[实用新型]等离子体化学气相沉积镀膜设备送气系统

权利要求书

1.一种等离子体化学气相沉积镀膜设备送气系统，包括一排支管道（4），所述支管道（4）的一端均和进气管道（3）的一侧连通，所述进气管道（3）和总管道（1）连通，支管道（4）的上方设有一排出气孔（5），其特征在于：所述进气管道（3）的另一侧还设有一排支管道（4），以上构成一组进气装置。

2.根据权利要求1所述的等离子体化学气相沉积镀膜设备送气系统，其特征在于：所述支管道（4）对称分布在进气管道（3）的两侧，间隔均匀，支管道（4）上方的出气孔（5）均匀分布。

3.根据权利要求1所述的等离子体化学气相沉积镀膜设备送气系统，其特征在于：所述进气管道（3）的前端设置有调节阀门（2）。

4.根据权利要求1、2或3所述的等离子体化学气相沉积镀膜设备送气系统，其特征在于：设有2组以上的进气装置，各进气装置的进气管道（3）均与总管道（1）连通。