[实用新型]一种开有斜槽的石英舟结构有效
| 申请号： | 201320226496.5 | 申请日： | 2013-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN203225243U | 公开（公告）日： | 2013-10-02 |
| 发明（设计）人： | 赵之俊;刘明;赵峰 | 申请（专利权）人： | 康可电子(无锡)有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677 |
| 代理公司： | 无锡华源专利事务所(普通合伙) 32228 | 代理人： | 冯智文 |
| 地址： | 214142 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 斜槽 石英 结构 | ||
1.一种开有斜槽的石英舟结构，其特征在于：包括底座（4），底座（4）上装置舟体（2），于所述舟体（2）的两端设置可与搬运器插接的安装孔（3），在舟体（2）上开有多个可供硅片插入的安装槽及导气孔（5）。
2.如权利要求1所述的一种开有斜槽的石英舟结构，其特征在于：所述安装槽为一斜槽（201），所述斜槽（201）与垂直线之间形成2°～5°的夹角，于所述斜槽（201）上还开有倒角，倒角的角度为59°～61°。
3.如权利要求1所述的一种开有斜槽的石英舟结构，其特征在于：于所述舟体（2）上，位于安装孔（3）的内侧还装置手柄（6），所述手柄（6）为长条形。
4.如权利要求1所述的一种开有斜槽的石英舟结构，其特征在于：所述舟体（2）上还开有长圆形插槽（7），所述长圆形插槽（7）至少为5个。
5.如权利要求1所述的一种开有斜槽的石英舟结构，其特征在于：所述舟体（2）两腰线之间的形成的夹角α为119°～121°。
6.如权利要求1所述的一种开有斜槽的石英舟结构，其特征在于：所述舟体（2）上开有的导气孔（5）至少为5个，导气孔（5）为长圆形。
7.如权利要求1所述的一种开有斜槽的石英舟结构，其特征在于：所述安装孔（3）为4个。
8.如权利要求1所述的一种开有斜槽的石英舟结构，其特征在于：所述底座（4）为3个，分别位于舟体（2）的前部、中部及后部。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
