[实用新型]基于电容的催化燃烧型甲烷浓度传感结构

权利要求书

1.基于电容的催化燃烧型甲烷浓度传感结构，其特征在于：包括基底（5）以及设置在基底（5）上的支柱一（1）和支柱二（2），所述支柱一（1）与支柱二（2）之间设置有用于构成平板电容器的极板一（10）和极板二（11），所述极板一（10）安装在基底（5）的上表面，所述极板二（11）的一侧边通过连接梁一（6）与支柱一（1）相连接，所述极板二（11）的另一侧边通过连接梁二（7）与支柱二（2）相连接，所述连接梁一（6）和连接梁二（7）的上表面均设置有由电阻丝制成的加热层（12），所述加热层（12）的上表面设置有用于在受热时产生弯曲变形的变形层（13），所述变形层（13）的上表面设置有用于附着催化剂的薄膜层（14），所述薄膜层（14）的上表面设置有用于与甲烷气体发生无焰燃烧的催化剂层（15）。

2.根据权利要求1所述的基于电容的催化燃烧型甲烷浓度传感结构，其特征在于：所述基底（5）上设置有与支柱一（1）同侧布设的支柱三（3）和与支柱二（2）同侧布设的支柱四（4），所述支柱三（3）通过连接梁三（8）与极板二（11）相连接，所述支柱四（4）通过连接梁四（9）与极板二（11）相连接，所述连接梁三（8）和连接梁四（9）的上表面均设置有由电阻丝制成的加热层（12），所述加热层（12）的上表面设置有用于在受热时产生弯曲变形的变形层（13），所述变形层（13）的上表面设置有用于附着催化剂的薄膜层（14），所述薄膜层（14）的上表面设置有用于与甲烷气体发生无焰燃烧的催化剂层（15）。

3.根据权利要求2所述的基于电容的催化燃烧型甲烷浓度传感结构，其特征在于：所述基底（5）、支柱一（1）、支柱二（2）、支柱三（3）、支柱四（4）、连接梁一（6）、连接梁二（7）、连接梁三（8）和连接梁四（9）均由硅制成。

4.根据权利要求1所述的基于电容的催化燃烧型甲烷浓度传感结构，其特征在于：所述基底（5）上设置有用于将支柱一（1）、支柱二（2）和基底（5）罩住的壳体（16），所述壳体（16）上设置有多个供甲烷气体进入壳体（16）内且阻止灰尘进入壳体（16）内的透气孔（17）。