[实用新型]用于红外甲烷浓度检测的传感结构有效
申请号: | 201320224707.1 | 申请日: | 2013-04-28 |
公开(公告)号: | CN203241337U | 公开(公告)日: | 2013-10-16 |
发明(设计)人: | 张渤 | 申请(专利权)人: | 西安科技大学 |
主分类号: | G01N21/35 | 分类号: | G01N21/35 |
代理公司: | 西安创知专利事务所 61213 | 代理人: | 马斌 |
地址: | 710054 *** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 红外 甲烷 浓度 检测 传感 结构 | ||
1.用于红外甲烷浓度检测的传感结构,其特征在于:包括基底(1)、用于发出脉动红外光的红外激光器(3)、用于将所述脉动红外光全反射传输至基底(1)中心部的多个全反射镜(4)和用于将脉动红外光分成两路的分光镜(2),以及用于分别接收经分光镜(2)分出的两路脉动红外光并转换为电信号的红外探测器一(5)和红外探测器二(7),所述红外探测器一(5)和分光镜(2)之间设置有供与甲烷气体吸收相匹配波长的脉动红外光穿过的滤波片一(6),所述红外探测器二(7)和分光镜(2)之间设置有供与甲烷气体吸收相匹配波长以外的脉动红外光穿过的滤波片二(8);所述红外激光器(3)、多个全反射镜(4)、分光镜(2)、红外探测器一(5)、红外探测器二(7)、滤波片一(6)和滤波片二(8)均设置在基底(1)上。
2.根据权利要求1所述的用于红外甲烷浓度检测的传感结构,其特征在于:所述基底(1)上设置有用于将红外激光器(3)、分光镜(2)、红外探测器一(5)、红外探测器二(7)、滤波片一(6)、滤波片二(8)和多个所述全反射镜(4)罩住的壳体(9),所述壳体(9)上开设有多个供检测气体进入壳体(9)内部且能够阻止灰尘进入壳体(9)内部的透气孔(10)。
3.根据权利要求2所述的用于红外甲烷浓度检测的传感结构,其特征在于:所述基底(1)和壳体(9)均由硅制成。
4.根据权利要求1所述的用于红外甲烷浓度检测的传感结构,其特征在于:所述分光镜(2)为50-50分光镜。
5.根据权利要求1所述的用于红外甲烷浓度检测的传感结构,其特征在于:所述基底(1)的长度和宽度均为5mm。
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