[实用新型]一种阳极键合批量化生产设备

权利要求书

1.一种阳极键合批量化生产设备，其特征是：其组成包括主电器控制柜(10)，设置在所述主电器控制柜(10)上部的上壳体(6)，所述上壳体(6)内部设有批量阳极键合系统(8)，以及与批量阳极键合系统(8)相连的料盘传送系统(3)和三自由度吸附手(4)，所述料盘传送系统(3)两端分别连接有批量进料机构(2)和批量出料机构(9)，所述上壳体(6)外部设有操作面板(7)和显示器(1)。

2.根据权利要求1所述的一种阳极键合批量化生产设备，其特征是：所述上壳体(6)顶部还设有三色报警灯(5)。

3.根据权利要求1所述的一种阳极键合批量化生产设备，其特征是：所述批量出料机构(9)的组成包括升降电动滑台(94)和槽型料盘放置边板(92)，以及设置在所述槽型料盘放置边板(92)上部的斯科制锁(91)和对侧的光电开关(93)。

4.根据权利要求1所述的一种阳极键合批量化生产设备，其特征是：所述批量进料机构(9)的组成包括升降电动滑台(94)和槽型料盘放置边板(92)，以及设置在所述槽型料盘放置边板(92)上部的斯科制锁(91)和对侧的光电开关(93)。

5.根据权利要求1所述的一种阳极键合批量化生产设备，其特征是：所述料盘传送系统(3)的组成包括料盘(31)，与所述料盘(31)连接的传送带(32)，设置在所述传送带(32)一侧的显微镜(34)，分别设置在所述显微镜(34)两侧的气动限位挡块(33)和气动式推板(35)，所述气动式推板(35)一侧设有活动推块(36)。

6.根据权利要求1所述的一种阳极键合批量化生产设备，其特征是：三自由度吸附手(4)的组成包括互相垂直的Y轴电动滑台(41)、Z轴电动滑台(42)和X轴电动滑台(43)，所述Z轴电动滑台(42)连接有气缸吊板(45)，气缸吊板(45)内部设有气缸(46)、缓震压簧(47)和活塞连接件(48)，以及设置在三自由度吸附手(4)最底端的搬运式吸头(44)。

7.根据权利要求1所述的一种阳极键合批量化生产设备，其特征是：所述批量阳极键合系统(8)的组成包括下炉体键合平台(81)、上炉体线罩(82)、散热风扇(83)、下炉体线罩(84)、边缘挡板(85)、上炉体支撑板(86)、上炉体X轴电动动滑台(87)、上炉体Z轴电动滑台(88)、可调压式杆件(89)、导向滑轨(810)、下压滑杆(811)、下压上炉体(812)，其中下炉体键合平台(81)设置在下炉体线罩(84)上方，下压上炉体(812)设置在下炉体键合平台(81)上方，下压滑杆(811)设置在下压上炉体(812)上方，导向滑轨(810)设置在下压滑杆(811)上方，可调压式杆件(89)设置在导向滑轨(810)上方，上炉体线罩(82)设置在可调压式杆件(89)上方，上炉体线罩(82)和下炉体线罩(84)之间依靠上炉体支撑板(86)和边缘挡板(85)支撑，所述上炉体支撑板(86)上设有散热风扇(83)，上炉体X轴电动动滑台(87)和上炉体Z轴电动滑台(88)设置在下炉体键合平台(81)下方。