[实用新型]研磨装置

权利要求书

1.一种研磨装置，其特征在于，具备：

研磨工作台，其具有研磨面；

顶环，其保持研磨对象物并将该研磨对象物按压于所述研磨面；

研磨液供给口，其向所述研磨面供给研磨液；以及

移动机构，其使所述研磨液供给口移动，以使所述研磨液借助所述研磨对象物与所述研磨面之间的相对移动而均匀地遍布所述研磨对象物的整个面。

2.根据权利要求1所述的研磨装置，其特征在于，

所述移动机构通过摆动移动、往返移动、旋转移动以及直线移动中的至少一种移动而使所述研磨液供给口移动。

3.根据权利要求1或2所述的研磨装置，其特征在于，

所述移动机构在所述研磨液供给口的移动过程中使该研磨液供给口的移动速度发生变化。

4.根据权利要求1或2所述的研磨装置，其特征在于，

所述研磨装置还具备液量控制机构，该液量控制机构对在所述研磨液供给口的移动过程中从该研磨液供给口供给的所述研磨液的量进行控制。

5.根据权利要求1或2所述的研磨装置，其特征在于，

还具备研磨液供给喷嘴，该研磨液供给喷嘴具有所述研磨液供给口。

6.根据权利要求1或2所述的研磨装置，其特征在于，

还具备研磨液供给喷嘴，该研磨液供给喷嘴具有多个所述研磨液供给口。

7.根据权利要求6所述的研磨装置，其特征在于，

多个所述研磨液供给口具有不同的孔径。

8.根据权利要求6所述的研磨装置，其特征在于，

还具备液量控制机构，该液量控制机构对从多个所述研磨液供给口供给的研磨液的量分别进行调整。

9.根据权利要求5所述的研磨装置，其特征在于，

所述研磨液供给喷嘴沿着所述研磨工作台的径向配置。

10.根据权利要求5所述的研磨装置，其特征在于，

所述研磨液供给喷嘴沿着相对于所述研磨工作台的径向以规定的角度倾斜的方向配置。

11.根据权利要求5所述的研磨装置，其特征在于，

所述顶环与所述研磨工作台进行非旋转的相对运动。

12.一种研磨装置，其特征在于，具备：

研磨工作台，其具有研磨面；

顶环，其保持研磨对象物并将该研磨对象物按压于所述研磨面；

多个研磨液供给口，它们向所述研磨面供给研磨液；以及

液量控制机构，其对来自所述研磨液供给口的所述研磨液的供给量进行控制，以使所述研磨液借助所述研磨对象物与所述研磨面之间的相对移动而均匀地遍布所述研磨对象物的整个面。

13.根据权利要求12所述的研磨装置，其特征在于，

所述液量控制机构对从多个所述研磨液供给口供给的研磨液的量分别进行调整。

14.根据权利要求12或13所述的研磨装置，其特征在于，

多个所述研磨液供给口具有不同的孔径。

15.根据权利要求12或13所述的研磨装置，其特征在于，

还具备研磨液供给喷嘴，该研磨液供给喷嘴具有多个所述研磨液供给口。

16.根据权利要求15所述的研磨装置，其特征在于，

所述研磨液供给喷嘴沿着所述研磨工作台的径向配置。

17.根据权利要求15所述的研磨装置，其特征在于，

所述研磨液供给喷嘴沿着相对于所述研磨工作台的径向以规定的角度倾斜的方向配置。

18.根据权利要求12或13所述的研磨装置，其特征在于，

所述顶环与所述研磨工作台进行非旋转的相对运动。

19.一种研磨装置，其特征在于，具备：

研磨工作台，其具有研磨面；

顶环，其保持研磨对象物并将该研磨对象物按压于所述研磨面；

分散部件，其使研磨液分散并向所述研磨面供给；以及

研磨液供给口，其向所述分散部件供给研磨液。

20.根据权利要求19所述的研磨装置，其特征在于，

所述分散部件是安装于所述研磨液供给口的扇形的分散板。