[实用新型]一种线列式多片传输系统及使用其的薄膜沉积设备

权利要求书

1.一种线列式多片传输系统，其特征在于：包括支撑架（1）和两个以上线列式的装载单元，所述装载单元包括相互固连的承载支架（2）和支架传送装置（3），所述支架传送装置（3）滑动内嵌于所述支撑架（1）内，所述支架传送装置（3）带动所述承载支架（2）做线性运动；且在所述支撑架（1）上设有检测处于两端的所述装载单元装载状况的光电传感器（4）。

2.根据权利要求1所述的线列式多片传输系统，其特征在于：在所述装载单元上设有用于检测工件（10）安全状况的辅助光电传感器（5）。

3.一种使用权利要求1所述的线列式多片传输系统的薄膜沉积设备，包括上片机、进载台、预处理腔、沉积腔、冷却腔、出载台和下片机，其特征在于：在所述上片机和所述进载台之间设有所述线列式多片传输系统，所述线列式多片传输系统中的所述装载单元由所述上片机向所述进载台运动，且在所述线列式多片传输系统的所述支撑架（1）上设有检测所述装载单元运动状态的限位传感器。

4.根据权利要求3所述的薄膜沉积设备，其特征在于：在所述出载台和所述下片机之间设有所述线列式多片传输系统，所述线列式多片传输系统中的所述装载单元由所述出载台向所述下片机运动。