[实用新型]一种低温等离子有机废气净化器的自动清洗装置

权利要求书

1.一种低温等离子有机废气净化器的自动清洗装置，其特征在于：包括底座、离心泵、隔膜泵、清洗液槽，所述的离心泵、隔膜泵和清洗液槽均固定在所述的底座上，所述的离心泵的进液口与所述的清洗液槽管道连接，所述的离心泵的出液口与所述的隔膜泵的进液口管道连接，所述的隔膜泵的出液口与所述的清洗液槽管道连接；所述的离心泵和所述的隔膜泵之间的管道通过三通引出一个外接口，所述的清洗液槽上设置循环接口。

2.如权利要求1所述的一种低温等离子有机废气净化器的自动清洗装置，其特征在于：所述的清洗液槽的内底部表面铺设带有温度计的板式加热设备。

3.如权利要求2所述的一种低温等离子有机废气净化器的自动清洗装置，其特征在于：所述的板式加热设备采用交流220V供电通过交直流变压装置，实现加热功率为50W～500W。

4.如权利要求3所述的一种低温等离子有机废气净化器的自动清洗装置，其特征在于：所述的三通和所述的隔膜泵之间的管路上设置阀门和流量计、所述的隔膜泵和所述的清洗液槽之间的管路、所述的离心泵和所述的清洗液槽之间的管路以及所述的清洗液槽与所述的循环接口之间的管路上均配备阀门。

5.如权利要求4所述的一种低温等离子有机废气净化器的自动清洗装置，其特征在于：所述的外接口和所述的循环接口与待清洗的等离子体设备之间的连接口为方形接口、圆形接口或三角形接口的通用接口。