[实用新型]一种滑轨式快速升降温高压炉

说明书

技术领域：

本实用新型涉及一种高真空退火，高气压退火，快速升降温炉，具体涉及一种滑轨式快速升降温高压炉。

背景技术：

传统的管式炉，结构较单一，操作较为机械化，设备较复杂，不能够快速升降温，设备用途也比较单一，在结构上也存在诸多不足处，如：传统的管式炉升温速度慢，功率要求大，高能耗，降温速度更是无法控制。传统的管式炉由于法兰结构和炉管材质的限制，只允许负压或者常压操作，对于一些要求高温高压的实验无法满足。

实用新型内容：

本实用新型的目的是提供一种滑轨式快速升降温高压炉，它可以实现高真空退火，快速升温，高压烧结，快速淬火，正压CVD，电极测试等功能，同时可以实现快速降温。

为了解决背景技术所存在的问题，本实用新型是采用以下技术方案：一种滑轨式快速升降温高压炉，它包括炉体，炉体上设有控制面板，所述炉体内设有炉膛，炉体一侧设有滑轨支撑架，滑轨支撑架上设有滑轨，滑轨上设有钢管支撑架，钢管支撑架上通过铠装法兰固定连接有高温合金钢管。

所述钢管支撑架与滑轨滑动连接，所述高温合金钢管与炉膛配合。

所述的炉体和滑轨支撑架下均设有滑轮。

本实用新型一种滑轨式快速升降温高压炉工作原理是，该款设备主要针对一些高真空退火，快速升温炉（RTP），高压烧结，快速淬火，正压CVD，电极测试等功能，在炉体一侧的滑轨可以在高温时直接滑出高温合金钢管，从而可以实现快速降温。也可以将炉膛内加热到目标温度，快速将炉管推入炉膛内，可以实现每秒50度的升温，可以作为快速升温炉使用，该款设备可以一机多用，同时可以更换炉管材质，如石英管，特种钢管，莫来石管等，是材料实验室处理的必备产品。

本实用新型利用了新型的结构简单，能够快速升降温，操作便捷，可以实现高真空退火，快速升温、降温，高压烧结，快速淬火，正压CVD，电极测试等功能，真正实现了一机多用，同时可以更换炉管材质，如石英管，特种钢管，莫来石管等，是材料实验室处理的必备产品，节约了工时功效。

附图说明：

图1是本实用新型的结构示意图。

图1是本实用新型的结构俯视意图。

其中:1、铠装法兰、2、炉膛，3、炉体，4、滑轨支撑架，5、滑轨，6、高温合金钢管，7、钢管支撑架，8控制面板，9、轮子。

具体实施方式：

参看图1，一种滑轨式快速升降温高压炉，它包括炉体，炉体上设有控制面板，所述炉体内设有炉膛，炉体一侧设有滑轨支撑架，滑轨支撑架上设有滑轨，滑轨上设有钢管支撑架，钢管支撑架上通过铠装法兰固定连接有高温合金钢管。

所述钢管支撑架与滑轨滑动连接，所述高温合金钢管与炉膛配合。

所述的炉体和滑轨支撑架下均设有滑轮。

本实用新型一种滑轨式快速升降温高压炉工作原理是，该款设备主要针对一些高真空退火，快速升温炉（RTP），高压烧结，快速淬火，正压CVD，电极测试等功能，在炉体一侧的滑轨可以在高温时直接滑出高温合金钢管，从而可以实现快速降温。也可以将炉膛内加热到目标温度，快速将炉管推入炉膛内，可以实现每秒50度的升温，可以作为快速升温炉使用，该款设备可以一机多用，同时可以更换炉管材质，如石英管，特种钢管，莫来石管等，是材料实验室处理的必备产品。

本实用新型利用了新型的结构简单，能够快速升降温，操作便捷，可以实现高真空退火，快速升温、降温，高压烧结，快速淬火，正压CVD，电极测试等功能，真正实现了一机多用，同时可以更换炉管材质，如石英管，特种钢管，莫来石管等，是材料实验室处理的必备产品，节约了工时功效。