[实用新型]一种晶体生长的自动检测装置有效
| 申请号： | 201320211578.2 | 申请日： | 2013-04-23 |
| 公开（公告）号： | CN203284506U | 公开（公告）日： | 2013-11-13 |
| 发明（设计）人： | 徐永亮;张国华;吴智洪 | 申请（专利权）人： | 浙江昀丰新能源科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B35/00 | 分类号： | C30B35/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 王宝筠 |
| 地址： | 321037 浙江省金*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 晶体生长 自动检测 装置 | ||
1.一种晶体生长的自动检测装置，其特征在于，包括：
升降支架；
设置于所述升降支架一侧的石英管；
连接所述升降支架和所述石英管的升降板，所述升降板可沿所述升降支架和所述石英管上下移动；
设置于所述升降支架上，以控制所述升降板上下移动的升降模组；
设置于所述石英管内部，且可沿所述石英管上下移动的钨棒；
设置于所述钨棒的上端，具有磁性的升降环；
设置于所述升降板上，以通过所述升降环带动所述钨棒上下移动的磁铁；
设置于所述升降板上，以检测所述升降环移动的区域传感器。
2.根据权利要求1所述的晶体生长的自动检测装置，其特征在于，所述升降模组包括伺服电机和与所述伺服电机电连接的联轴器，所述联轴器连接所述升降板。
3.根据权利要求1所述的晶体生长的自动检测装置，其特征在于，还包括：设置于所述石英管下方并包围所述石英管的密封件。
4.根据权利要求3所述的晶体生长的自动检测装置，其特征在于，所述密封件包括带有水冷的腔体和密封圈，所述密封圈的直径等于所述石英管的直径。
5.根据权利要求1所述的晶体生长的自动检测装置，其特征在于，还包括：设置于所述钨棒上端，固定所述钨棒的升降固定块。
6.根据权利要求5所述的晶体生长的自动检测装置，其特征在于，所述区域传感器的感应区域的最下端与所述升降固定块的上端面齐平。
7.根据权利要求1所述的晶体生长的自动检测装置，其特征在于，还包括：连接所述石英管和所述升降支架的连接板。
8.根据权利要求1所述的晶体生长的自动检测装置，其特征在于，还包括：位于所述型连接板上方的石英固定座。
9.根据权利要求1所述的晶体生长的自动检测装置，其特征在于，还包括：位于所述区域传感器和升降板之间的垫片。
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