[实用新型]纯氢气工艺设备的安全连锁装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种纯氢气工艺设备的安全连锁装置，适用于半导体行业。 

背景技术

半导体行业中使用纯氢气的设备如扩散炉较为普遍，但是很多的厂家因为缺少硬件保护和软件的安全连锁，导致时有氢气爆鸣甚至爆炸事故的发生，给操作人员的人生安全和公私财产安全带来很大的风险。由于产品要求的特殊性，在工艺运行过程中，某些工艺必须在通氢气的状态下进行推拉硅片进出扩散炉管，这样更是加大了作业的风险，常用的纯氢气工艺设备有以下几种不足之处： 

1、炉门压紧装置过于简单，一旦发生氢气爆鸣或爆炸对操作人员伤害极大；

2、排风和其他设备排风连接同一根管道，导致排风忽大忽小，受外界影响严重；

3、控制氢气流量的质量流量计发生故障时无法第一时间得知；

4、废氢燃烧装置采用加热棒加热的燃烧方式进行废氢燃烧，一旦加热棒在使用一段时间后功率下降，无法正常点燃废氢，存在极大的安全隐患；

废弃燃烧口敞开式，受排风影响不容易被点燃。

发明内容

本实用新型的目的在于克服上述不足，提供一种纯氢气工艺设备的安全连锁装置，提高使用纯氢气工艺设备的安全可靠性。 

本实用新型的目的是这样实现的：一种纯氢气工艺设备的安全连锁装置，包括废氢燃烧装置和排风异常控制系统，所述废氢燃烧装置的排风口与一排风风机的入口相连，其特征在于在所述排风口与排风风机的管路上设置有风压表， 所述风压表与排风异常控制系统相连，在所述排风异常控制系统上分别设置有氢气气动阀门和声光报警器，所述氢气气动阀门的出口与废氢燃烧装置的入口相连，在所述氢气气动阀门的出口与废氢燃烧装置的入口之间设置有氢气MFM装置和氢气MFC装置。 

所述废氢燃烧装置的炉门采用硬压紧方式，通过安全栓锁定。 

在所述废氢燃烧装置的废氢点火器内部设置点火丝，所述点火丝通过带孔石英罩包覆。 

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是： 

本实用新型通过改变炉门压紧方式提高路口作业人员的安全性，增加风压表检测风压异常状况，在发生风压异常时发出报警同时切断风机电源防止事故发生，同时改变废氢的燃烧方式提高废氢的燃烧速度和充分性，确保安全。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图。 

图2为本实用新型中废氢点火器的结构示意图。 

其中： 

废氢燃烧装置1

排风异常控制系统2

排风口3

排风风机4

风压表5

氢气气动阀门6

声光报警器7

氢气MFM装置8

氢气MFC装置9

点火丝10

带孔石英罩11。

具体实施方式

参见图1—图2，本实用新型涉及一种纯氢气工艺设备的安全连锁装置，包括废氢燃烧装置1和排风异常控制系统2，所述废氢燃烧装置1的炉门采用硬压紧方式，通过安全栓锁定，所述废氢燃烧装置1的排风口3与一排风风机4的入口相连，在所述排风口3与排风风机4的管路上设置有风压表5， 所述风压表5与排风异常控制系统2相连，在所述排风异常控制系统2上分别设置有氢气气动阀门6和声光报警器7，所述氢气气动阀门6的出口与废氢燃烧装置1的入口相连，当风压表5测得异常风压时将信息反馈给排风异常控制系统2，排风异常控制系统2立即关闭氢气气动阀门6切断氢气供给，同时切断排风风机4的电源，声光报警器7发出警报，在所述氢气气动阀门6的出口与废氢燃烧装置1的入口之间设置有氢气MFM装置8和氢气MFC装置9，所述氢气MFM装置8的入口与氢气气动阀门6的出口相连，氢气MFM装置8的出口与氢气MFC装置9的入口相连，所述氢气MFC装置9的出口与废氢燃烧装置1的入口相连，通过氢气MFM装置8来实时校准氢气MFC装置的流量和检测其流量计是否损坏，参见图2，将废氢燃烧装置1的废氢点火器的燃烧方式由传统的加热棒燃烧方式改为点火丝燃烧方式，这样会将排出的废氢迅速、充分燃烧掉，保证无残留，即在所述废氢燃烧装置1的废氢点火器内部设置点火丝10，所述点火丝10通过带孔石英罩11包覆，可以减小排风对点火的影响，又能让废氢充分的燃烧。 

通过更改软件连锁保证操作的安全性； 

1、废氢燃烧装置与软件的连锁：

1.1点火装置电源没有开启系统严禁运行程序、严禁通氢气；