[实用新型]研磨机静压下磨盘部件

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种研磨机静压下磨盘部件。

背景技术

研磨机是一种广泛用于IC、IT等行业研磨碳化硅、蓝宝石、压电晶体、压电陶瓷等片状零件的设备。

下磨盘部件是该设备的核心部件。常见下磨盘结构原理如图3所示，主要由轴承座1、驱动轴2、支承块③、平面滚动轴承④、下磨盘5等组成。下磨盘5与驱动轴2连为一体；平面滚动轴承④安装于支承块③上，与轴承座1相连为一体；下磨盘5工作时，工件7装置于下磨盘5上面，上磨盘6施压于工件7上面，当动力驱动下磨盘5旋转时，使下磨盘5、工件7、上磨盘6之间产生相对运动，研磨工件7的上下两平面。调整上磨盘6压力，获得不同的研磨效率与精度。

显然，平面滚动轴承④所组成的支承单元其精度、性能决定研磨工件的精度和加工效率，然而平面滚动轴承以及支承块③、轴承座1的加工与装配精度实际上难于达到理想要求。所以在工作时，当上磨盘6给以施载或超过一定载荷时，平面滚动轴承④易产生几何和弹性变形，严重影响加工精度和效率，甚至造成工件破损。

发明内容

本实用新型的目的在于提供一种能替代平面滚动轴承的静压下磨盘部件，以改其弊端。

本实用新型的技术方案是：一种研磨机静压下磨盘部件，包括轴承座、驱动轴、下磨盘，其特征在于：在轴承座与下磨盘之间设置静压块和配油环；在静压块上设置至少3个油腔；静压块与配油环相匹配设置有与油腔数量相等的节流间隙，其节流间隙与进油管道和油腔相通。

本实用新型所述的静压块上设置有6个油腔。

本实用新型所述的静压块油腔的油由供油站提供并经静压块与配油环之间设置的节流间隙进入。

本实用新型的关键在于由静压块和配油环组成的静压支承单元取代现有技术中的由支承块与平面滚动轴承组成的支承单元。由供油站供给的压力油，经配油环与静压块匹配设置的节流间隙分别进入静压块上的各油腔，形成具有很大刚度的压力油膜将下磨盘托起，并承受工作时上磨盘所施加的载荷，经生产验证，大大提高了下磨盘的运动精度和研磨精度，具有如下优点：

1、承载能力大，研磨效率高：常见下磨盘部件的承载能力仅500KG左右，该静压下磨盘部件承载能力可达3000KG以上，从而提高了研磨效率。

2、精度高、吸振性能好：压力油膜可均化制造误差，不但使下磨盘运动精度可提高到微米级，油膜还有很好的吸振性，运动平稳可靠。

3、使用寿命长：油膜支承，没有金属接触，处纯液体摩擦，理论上有无限寿命。

附图说明

图1为本实用新型示意图；

图2为本实用新型油腔布局示意图；

图3为常见的双面研磨机下磨盘部件。

图中：1、轴承座；2、驱动轴；3、静压块；③、支承块；4、配油环；④、平面滚动轴承；5、下磨盘；6、上磨盘；7、工件；8、油腔；9、供油站；10、节流间隙。

具体实施方式

如图1所示，本实用新型的静压下磨盘部件包括轴承座1、驱动轴2、静压块3、配油环4、下磨盘5；在轴承座1和下磨盘5之间设置静压块3和配油环4；静压块上设置有油腔，本实施例为6个油腔（如图2所示）；静压块3与配油环4相匹配设置与油腔数量相同的6个节流间隙。每个节流间隙与所对应的油腔的油路相通。工作时，由供油站提供的压力油经节流间隙进入静压块上的各个油腔，使下磨盘5与静压块3之间形成油膜，将下磨盘托起，并承受上磨盘所施加的载荷，实现了下磨盘5的静压支承。