[实用新型]MO源的简易分装设备

权利要求书

1.一种MO源的简易分装设备，其特征在于，包括：第一、第二、第三管路以及设置于所述第一、第二、第三管路上的多个阀门；其中，所述第一管路连通到第一MO源瓶，所述第二管路分别与第二、第三MO源瓶相连，所述第三管路分别与所述第一、第二、第三MO源瓶连通，并且所述第三管路的输入端与所述第二管路的输入端相互连通。

2.如权利要求1所述的MO源的简易分装设备，其特征在于，所述第一管路的输出端位于所述第一MO源瓶的顶部。

3.如权利要求1所述的MO源的简易分装设备，其特征在于，所述第二管路的输出端分别位于所述第一、第二、第三MO源瓶的顶部。

4.如权利要求1所述的MO源的简易分装设备，其特征在于，所述第三管路的输出端分别位于所述第二、第三MO源瓶的顶部。

5.如权利要求1所述的MO源的简易分装设备，其特征在于，所述阀门包括设置于所述第一、第二、第三管路的输入端的第一阀门和设置于输出端的第二阀门。

6.如权利要求5所述的MO源的简易分装设备，其特征在于，所述阀门还包括设置于所述第三管路的输入端与输出端之间的第三阀门。

7.如权利要求1所述的MO源的简易分装设备，其特征在于，所述第一管路和第二管路中为高纯氩气管线。

8.如权利要求7所述的MO源的简易分装设备，其特征在于，所述第三管路为真空管线。