[实用新型]一种激光扫描热波层析成像装置

权利要求书

1.一种红外热波层析成像无损检测系统，包括：

红外热像仪（22），所述红外热像仪（22）用于采集被测物体（28）表面的热波图像；

高功率激光器（21），所述高功率激光器（21）用于对被测物体（28）表面激励热波；

光束整形装置（26），所述光束整形装置（26）用于使激光束（27）在被测物体（28）表面形成所需光斑形状；

光束偏转装置（25），所述光束偏转装置（25）用于偏转激光束（27）对被测物体（28）表面进行逐行扫描；

数据处理单元（20），所述数据处理单元（20）用于对所述红外热像仪（22）采集的热波图像进行处理分析；

其特征是：所述红外热波层析成像无损检测系统进一步包括扫描控制单元（24），所述扫描控制单元（24）控制所述光束偏转装置（25）与红外热像仪（22）保持相同行频，但帧频之间保持一个延迟量。

2.根据权利要求1所述的红外热波层析成像无损检测系统，其特征是：所述延迟量在每隔至少一帧之间，递增或递减一个增量。

3.根据权利要求1所述的红外热波层析成像无损检测系统，其特征是：所述光束整形装置（26）使激光束（27）在被测物体（28）表面形成至少一个聚焦光点，所述光束偏转装置（25）进行二维扫描。

4.根据权利要求1所述的红外热波层析成像无损检测系统，其特征是：所述光束整形装置（26）使激光束（27）在被测物体（28）表面形成至少一条线形光斑，所述光束偏转装置（25）进行一维扫描。

5.根据权利要求1所述的红外热波层析成像无损检测系统，其特征是：进一步包括光学滤波片（23），用于去除到达红外热像仪（22）的激光束（27）的散射光及其它干扰光。

6.根据权利要求1所述的红外热波层析成像无损检测系统，其特征是：（27）波长敏感的摄像机（32），用于记录被测物体（28）的表面光学特征及热激励光束（27）的光学特征。

7.根据权利要求1所述的红外热波层析成像无损检测系统，其特征是：所述红外热像仪（22）的检测波长范围在1-15微米之间。

8.根据权利要求1所述的红外热波层析成像无损检测系统，其特征是：所述高功率激光器（21）为连续或准连续输出。

9.根据权利要求1所述的红外热波层析成像无损检测系统，其特征是：所述光束偏转装置（25）为机械振镜。