[实用新型]用于微机电系统MEMS设备的驱动器及MEMS系统

说明书

技术领域

本申请涉及微机电系统（Micro-Electro-Mechanical System，MEMS），更具体地，涉及用于MEMS设备的驱动器。 

背景技术

微机电系统（MEMS）包括使用与用于制造集成电路的技术类似的光刻（photo-lithography）技术制造的、履行机电功能的小型机械设备。一些MEMS设备为可检测移动的传感器（例如，加速度计）、或为可检测角速率的传感器（例如陀螺仪）。一些MEMS陀螺仪包括驱动器，所述驱动器振荡所述MEMS陀螺仪的检测质量块（proof mass），以允许陀螺仪传感转动移动。 

实用新型内容

本申请涉及微机电系统（MEMS），更具体地，涉及用于MEMS设备的驱动器。在一示例中，用于MEMS设备的驱动器可包括：第一输入端，被配置为接收包括振荡指令信号的第一指令信号；第二输入端，被配置为接收包括偏置指令信号的第二指令信号；以及放大器，被配置为：接收高压电源，在第一状态下向所述MEMS设备提供响应于所述第一指令信号和所述第二指令信号的闭合回路输出信号，以及，在第二状态下提供配置为基本跨越所述高压电源的电压范围的开放回路输出信号。 

在一示例中，提供一种MEMS系统，可包括： 

MEMS设备；以及 

驱动器，被配置为向所述MEMS设备提供输出信号，其中所述驱动器包括： 

第一输入端，被配置为接收包括振荡指令信号的第一指令信号； 

第二输入端，被配置为接收包括偏置指令信号的第二指令信号；以及 

放大器，被配置为接收高压电源，所述放大器被配置为：在第一状态下向所述MEMS设备提供响应于所述第一指令信号和所述第二指令信号的闭合回路输出信号，以及，在第二状态下提供配置为基本跨越所述高压电源的电压范围的开放回路输出信号。 

本实用新型内容用于提供对本专利申请的主题的一般综述。其不用于提供本申请的排它或穷尽的解释。具体实施方式用于提供关于本专利申请的进一步的信息。 

附图说明

附图不一定按比例绘制，附图中，不同视图中相同的附图标记可以描述相同的组成部分。具有不同字母后缀的相同的附图标记可以代表相同组成部分的不同实例。附图总的来说通过示例而非限制的方式示出了本申请中讨论的各种实施例。 

图1大体示出了与MEMS传感器系统集成在一起的MEMS驱动器示例的框图。 

图2大体示出了MEMS驱动器的示例。 

图3大体示出了MEMS驱动器的示例。 

图4大体示出了高压放大器的示例。 

具体实施方式

MEMS传感器（例如MEMS陀螺仪）可使用振动的检测质量块的偏转提供移动检测和测量信号。检测质量块偏转可由起因于陀螺仪的转动移动的科里奥利力和振动的检测质量块的移动的组合引起。可在各种小型移动电子设备中使用MEMS传感器，所述各种小型移动电子设备包括但不限于：手机、个人数字助手、（例如用于远足和露营的）休闲工具以及游戏控制器。本发明人认识到可提供改善的性能、可节省成本费用并可使用更少功率的用于驱动MEMS检测质量块的高压驱动器。 

图1大体示出与MEMS传感器系统100集成在一起的MEMS驱动器107示例的框图。MEMS传感器系统100（例如MEMS陀螺仪系统100）可包括：包括检测质量块103的MEMS陀螺仪102；以及MEMS传感器电子设备104。在某些示例中，MEMS传感器电子设备104可包括：驱动器107；驱动传感电流-电压（C2V）转换器105；传感C2V转换器106；以及控制器101。在某些示例中，控制器101可向驱动器107提供指令信号。驱动器107可使用驱动电极（E_D）振荡MEMS陀螺仪102的检测质量块。检测质量块的振荡可影响驱动传感电极（E_DS）上的电荷，可使用驱动传感C2V转换器105将该电荷转换为电压。自驱动传感C2V转换器105接收的电压可提供关于陀螺仪检测质量块103的实际振荡的信息。该检测质量块振荡信息可以被接收器用来控制检测质量块的振荡相位和振幅（包括提供稳定的振荡振幅）。传感电极可提供对检测质量块的一个或多个部分响应于陀螺仪的转动移动的偏转的指示。一个或多个传感C2V转换器106可将传感电极（E_S）的电荷转换为电压。控制器可处理自一个或多个传感C2V转换器106接收的电压，以提供指示陀螺仪的转动移动的输出108。