[实用新型]热排异常报警系统及包含该热排异常报警系统的扩散炉

说明书

技术领域

本实用新型涉及扩散炉热排维护领域，具体而言，涉及一种热排异常报警系统及包含该热排异常报警系统的扩散炉。 

背景技术

现有的扩散炉热排异常报警的工作原理为：当热排风机工作异常后，设备温度得不到降温冷却，这时在炉管顶部有一根水箱温度检测仪，当温度超过90℃设备就会提示报警信息。但是热排风机工作异常之后，需要30分钟以上设备才会超过90℃并提示报警信息。这段时间内设备里面工艺的硅片方阻的稳定性将会有很大的波动，工作人员不能及时知道风机工作异常并能马上切换备用风机工作，此时设备里面进行工艺的产品的稳定性将会受到影响，降低企业生产的产品的质量。 

实用新型内容

本实用新型旨在提供一种热排异常报警系统及包含该热排异常报警系统的扩散炉，能够对扩散炉的热排进行实时监控，当扩散炉的热排发生异常时，能够及时报警。 

为了实现上述目的，根据本实用新型的一个方面，提供了一种热排异常报警系统，包括热排管道和与热排管道连接的热排风机，还包括从热排管道接出的第一管道、设置在第一管道上的排风压力检测表、以及与排风压力检测表电连接的报警器。 

进一步地，热排管道为多根，第一管道连接在多根热排管道中的任意一根上。 

进一步地，热排异常报警系统还包括第二管道，第二管道连接在热排管道和排风压力检测表之间的第一管道上。 

进一步地，热排风机通过一根主排管道与多根热排管道连接。 

进一步地，报警器的一端与排风压力检测表通过信号线连接，另一端与电源连接。 

进一步地，信号线与报警器的连接位置处设置有信号线连接接头。 

进一步地，信号线连接接头包括多个不同颜色标注的接线口。 

进一步地，排风压力检测表通过信号线连接接头与电源连接。 

进一步地，排风压力检测表为可调式差压表。 

根据本实用新型的另一方面，提供了一种扩散炉，该扩散炉包括热排异常报警系统，热 排异常报警系统为上述的热排异常报警系统。 

应用本实用新型的技术方案，热排异常报警系统包括热排管道和与热排管道连接的热排风机，还包括从热排管道接出的第一管道、设置在第一管道上的排风压力检测表、以及与排风压力检测表电连接的报警器。根据本实用新型的热排异常报警器，当发热设备的热排发生异常时，设置在第一管道上的排风压力检测表的示数就会落在预设值的范围之外，此时，报警器就会报警，工作人员就能及时对扩散炉的热排进行处理，从而保证正在进行工艺的产品的稳定性，提高企业生产的产品的质量。 

附图说明

构成本实用新型的一部分的附图用来提供对本实用新型的进一步理解，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中： 

图1示出了根据本法实用新型的信号线连接接头的示意图；以及 

图2示出了根据本法实用新型的扩散炉的结构示意图。 

附图中标号表示的结构如下： 

10、扩散炉；20、热排管道；30、主排管道；40、第一管道；50、第二管道；60、报警器；70、排风压力检测表；80、信号线连接接头；90、变压器；100、热排风机。 

具体实施方式

下文中将参考附图并结合实施例来详细说明本实用新型。需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。 

根据本实用新型的实施例，参见图2所示，热排异常报警系统包括热排管道20和与热排管道20连接的热排风机100，还包括从热排管道20接出的第一管道40、设置在第一管道40上的排风压力检测表70、以及与排风压力检测表70电连接的报警器60。根据本实用新型的热排异常报警器，当发热设备的热排发生异常时，设置在第一管道40上的排风压力检测表70的示数就会落在预设值的范围之外，此时，报警器60就会报警，工作人员就能及时对扩散炉的热排进行处理，从而保证正在进行工艺的产品的稳定性，提高企业生产的产品的质量。 

在本实施例中，热排管道20为多根，第一管道40连接在多根热排管道20中的任意一根上。热排管道20为多根，这样就可以将原来压力很大的热气分为多股流出，保证从第一管道40排除的热量的压力能够在排风压力表的量程范围之内。热排风机100通过一根主排管道30与多根热排管道20连接，在此种结构中，可以用一个热排风机100将多根热排管道20中的热量快速排出，节约企业生产成本。 

优选地，本实用新型中的报警器60为蜂鸣器，报警时，蜂鸣器发出警报声，及时提醒工作人员采取处理措施。