[实用新型]一种用于晶片的超声波清洗装置有效
| 申请号： | 201320162031.8 | 申请日： | 2013-04-02 |
| 公开（公告）号： | CN203196939U | 公开（公告）日： | 2013-09-18 |
| 发明（设计）人： | 崔景涛;梁浩;方建雄;李呼相;吴鲁 | 申请（专利权）人： | 苏州海铂晶体有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/12 | 分类号： | B08B3/12 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 李凤娇 |
| 地址： | 215437 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 晶片 超声波 清洗 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于晶片的超声波清洗装置，包括超声波清洗槽(1)和固定在超声波清洗槽(1)上的提拉转片装置，其特征在于：所述提拉转片装置包括与超声波清洗槽(1)两侧固定连接的纵向导向柱(2)、提升支架(3)和片盒(4)，所述提升支架(3)两侧穿设在纵向导向柱(2)上，所述片盒(4)固定在提升支架(3)下端，片盒(4)下方还设有转轴(5)。
2.根据权利要求1所述的用于晶片的超声波清洗装置，其特征在于：所述纵向导向柱(2)顶端设有升降驱动电机(6)，升降驱动电机(6)连接滚珠丝杆(7)驱动提升支架(3)上下运动。
3.根据权利要求1所述的用于晶片的超声波清洗装置，其特征在于：所述提升支架(3)上端设有旋转驱动电机(8)，旋转驱动电机(8)通过传动带(9)驱动转轴(5)旋转。
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