[实用新型]一种基于压电螺纹驱动技术的微动台

权利要求书

1.一种基于压电螺纹驱动技术的微动台，其特征在于，所述基于压电螺纹驱动技术的微动台包括采用压电螺纹驱动器直接驱动微动台一维微动台和二维微动台；所述一维微动台为在可相对移动的上板（3）和下板（4）的十字交叉中心线的一条两端，弹簧（7）支撑在上板（3）和下板（4）之间，然后螺钉（6）穿过弹簧（7）后将上板（3）和下板（4）连接，在十字交叉中心线的另一条的一端，钢球（5）固定在上板（3）和下板（4）之间，在另一端的上板（3）上的圆通孔内配合插入固定套筒（2），压电螺纹驱动器（1）的定子圆板（10）与固定套筒（2）内螺纹连接；压电螺纹驱动器（1）中心固定驱动螺杆（8），并与下板（4）接触，构成一维微动台；

所述二维微动台为在上板（3）对角线上，在其中一条的两端位置上对称设置圆通孔，两个圆通孔内各配合插入固定套筒（2），两个压电螺纹驱动器（1）的定子圆板（10）与固定套筒（2）内螺纹连接；压电螺纹驱动器（1）中心固定驱动螺杆（8），并与下板（4）接触；在另一条对角线的一端，钢球（5）固定在上板（3）和下板（4）之间，在该另一条对角线与钢球（5）同一侧，与钢球（5）呈等腰三角形处，弹簧（7）支撑在上板（3）和下板（4）之间，然后螺钉（6）穿过弹簧（7）后将上板（3和下板（4）连接，构成二维微动台。

2.根据权利要求1所述基于压电螺纹驱动技术的微动台，其特征在于，所述上板（3）和下板（4）的中心均开中心通孔；互为微动台板。

3.根据权利要求1所述基于压电螺纹驱动技术的微动台，其特征在于，所述上板（3）和下板（4）上的螺钉孔，一个为通孔，另一个为与螺钉（6）配合的螺纹孔。

4.根据权利要求1所述基于压电螺纹驱动技术的微动台，其特征在于，所述压电螺纹驱动器包括激励元件组、驱动螺杆和定子共轴组成；定子由圆板（10）和圆管（11）两部分组成，圆管（11）固定并垂直于圆板（10）的中心；激励元件组由四片压电陶瓷片（12）与电极片（13）交替排列套在圆管外圆上组成，并通过锁紧螺母（14）与圆管（11）外圆中部螺纹连接，圆管下部内螺纹（111）与驱动螺杆（8连接，圆板（10）的外侧边缘有用于与固定套筒（2）连接的外螺纹（110），固定套筒（2）通过内螺纹与压电螺纹驱动器（1）配合连接，导线穿过固定套筒（2）上的矩形通孔（15）与所述的电极片（13）连接，当施加电信号后，固定套筒（2）上的压电螺纹驱动器（1）在激励元件组的作用下推动驱动螺杆（8）做直线运动。