[实用新型]一种真空设备中热场的排气装置有效
| 申请号： | 201320159869.1 | 申请日： | 2013-04-02 |
| 公开（公告）号： | CN203173825U | 公开（公告）日： | 2013-09-04 |
| 发明（设计）人： | 顾正;刘缵森;马福厚 | 申请（专利权）人： | 青岛隆盛晶硅科技有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/021 | 分类号： | C01B33/021 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 266234 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 真空设备 中热场 排气装置 | ||
1.一种真空设备中热场的排气装置，其特征是：在含有热场的真空设备的炉体外壁（1）上固定安装排气装置，其中，排气装置进气口伸入到热场内部，出气口连接真空抽气装置。
2.根据权利要求1所述的一种真空设备中热场的排气装置，其特征是：所述热场包括保温盖（2）和保温桶（5），且保温盖安装于保温桶顶端。
3.根据权利要求1所述的一种真空设备中热场的排气装置，其特征是：所述真空设备包括炉体外壁（1）、坩埚（3）、支撑台（6）和炉门（12），其中支撑台（6）固定安装于炉体底部，坩埚（3）置于支撑台（6）之上，炉门（12）安装于炉体外壁（1）之上。
4.根据权利要求1所述的一种真空设备中热场的排气装置，其特征是：所述排气装置包括排气管（9）和水冷装置（7），排气管（9）固定在炉体外壁（1）上，其下端出口处伸入到热场内部0.5-0.8m，其上端出口处伸入到水冷装置（7）中，水冷装置（7）固定在炉体外壁（1）上。
5.根据权利要求4所述的一种真空设备中热场的排气装置，其特征是：所述排气管（9）采用石墨材料制成。
6.根据权利要求4或5任一所述的一种真空设备中热场的排气装置，其特征是：所述排气管（9）为圆形通管，且内径为20-35mm，外径为40-60mm，长度为0.5-1.5m。
7.根据权利要求1所述的一种真空设备中热场的排气装置，其特征是：所述真空抽气装置包括比例阀（8）、抽气管路（10）和滑阀泵（11），且比例阀固定连接于水冷装置（7）之上，滑阀泵通过抽气管路（10）与比例阀（8）连接。
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