[实用新型]一种用于卷绕镀膜机的除气装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种卷绕镀膜机，尤其涉及一种用于卷绕镀膜机的除气装置。

背景技术

采用卷绕镀膜设备在柔性基材（PET）表面溅镀ito导电薄膜是目前柔性触摸屏材料制备的主要方式，溅射方式通常采用磁控反应射，主要有直流磁控溅射和射频磁控溅射方式。对于ITO薄膜通常采用直流磁控溅射溅镀，直流磁控溅射过程中靶材与基材距离在100mm左右，导致基材表面温度很高，因此基材需采用冷却装置，即低温溅射镀膜。柔性基材表面溅射镀膜时，为防止工艺过程中将柔性基材划伤等造成不良，镀膜反面覆保护膜，保护膜一般有高温保护膜，基体为PET（聚对苯二甲酸二乙酯）；普通保护膜，基体为PP(聚丙烯)/PE（聚乙烯）。覆膜过程中吸附空气中水分子，以及保护膜与基材之间带有少量空气，导致镀膜过程中保护膜与基材将水分子释放，造成ITO导电膜方阻出现波动，以及方阻不均性。

发明内容

为了克服上述缺陷，本实用新型的目的在于除去基材及保护膜表面吸附水分子，以保证ITO导电膜方阻稳定性及均匀性，从而提供一种用于卷绕镀膜机的除气装置。

为了实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案：

一种用于卷绕镀膜机的除气装置，它包括一固定装置，在所述固定装置的水平方向设置有多条加热器，该装置整体前后呈对称结构，背面结构与前面相同，整体放置于放卷室。

所述固定装置的材质为陶瓷耐高温材料，该固定装置承受温度大于1000℃。

所述加热器由电热管或电热片组成，加热温度范围为：0℃至500℃。

本实用新型与现有技术相比有如下技术优点：

本实用新型能够有效地提高ITO导电膜方阻稳定性与均匀性，提高了生产良率及产能。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图。

图2为本实用新型置于卷绕机位置示意图。

1-固定装置；2-加热器；3- 放卷室；4-工艺室；5-收卷室；6 -除气装置。

具体实施方式

 为了详细叙述本实用新型专利的上述特点，优势和工作原理，下面结合说明书附图1和具体实施方式对本实用新型做进一步的说明，但本实用新型所保护的范围并不局限于此。

一种用于卷绕镀膜机的除气装置，它包括一固定装置1，在所述固定装置1的水平方向设置有多条加热器2，该装置整体前后呈对称结构。

所述固定装置1的材质为陶瓷耐高温材料。

所述加热器2由电热管或电热片组成。

本整体放置于放卷室3，卷绕机主要包括放卷室3、工艺室4、收卷室5、除气装置6。

镀膜温度随镀膜速度变化，镀膜速度低于2m/min时，加热器温度为0℃至200℃，镀膜速度大于2m/min小于4m/min，加热器温度为200℃至300℃，镀膜速度位于4m/min及8m/min之间，加热器温度为300℃至500℃。

以上所述实施例仅表达了本专利的一种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本专利构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本专利的保护范围应以所附权利要求为准。