[实用新型]一种减少异常开腔次数的离子注入机

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种晶体硅太阳能电池生产设备，尤其涉及一种减少异常开腔次数的离子注入机。

背景技术

应用于半导体生产的离子注入技术，现已在太阳能电池的制作上也得到了很好的应用，作为掺杂设备，尤为在高效太阳能电池的制作上，是重要的环节。虽然该机器很复杂，但作为生产型的设备，减少停机时间，多些产出，就显得尤为重要。

本设备是基于美商应用材料公司varian solion机台，包括了自动传送部分和真空部分，工艺反应腔室包括在高真空区内，如果高真空区的真空度有异常，整个机器就将处于故障状态，查找问题点将破坏影响真空的原因找出来处理好，机器才可能继续生产运行。在日常生产中，半成品的太阳能电池由于前道工序或其他原因，会造成残缺、破损、两片粘连等等生产过程中的异常太阳能电池片，由于是高真空系统，破碎的电池片在传送过程中会落到高真空区与大气的隔离阀上。当高真空区与大气的隔离阀关不严实，造成漏真空，机台无法生产运行，相关技术人员必须打开工艺反应腔室进行拆卸清理，将耗费大量生产时间，降低生产效益，详述如下：

图1和2分别为现有的离子注入机的原理简图、结构示意图，半成品太阳能电池在外界环境大气中，此时第一和第二真空隔离阀1、2都处于关闭状态，高真空区和缓冲区都处于真空状态，当太阳能电池片要通过缓冲区，首先缓冲区充入气体由真空变到大气后，第一真空隔离阀1打开，太阳能电池放入缓冲区，第一真空隔离阀1关闭，缓冲区进行抽真空至高真空后，第二真空隔离阀2打开，太阳能电池传入高真空区进行工艺反应完成后，第二真空隔离阀2打开，太阳能电池片传入缓冲区后，第二真空隔离阀2关闭，缓冲区充入气体到大气后接着第一真空隔离阀1打开，太阳能电池片传出来，传到第一真空隔离阀1外面大气环境中。当有破碎的太阳能电池片硅渣7落在第二真空隔离阀2处，如图3所示，由于第二真空隔离阀2有异物无法紧密闭合，当缓冲区由真空充气到大气时，气体会通过第二真空隔离阀2进入高真空区，高真空区无法达到高真空，机器无法进行工艺反应。以往处理此问题，只有将整个高真空区、缓冲区全部进行充气到大气状态，再进行拆卸清理第二真空隔离阀2，清理好异常后，再对机器高真空区和缓冲区抽真空，调试好机器后方可再生产，费时费力。

实用新型内容

实用新型目的：本实用新型的目的在于针对现有技术的不足，提供一种减少异常开腔次数的离子注入机，在高真空区内再安装一套隔离阀，将高真空的工艺反应腔室与要清理的部分隔离出来，无需再因为此问题去开启工艺反应腔室。

技术方案：本实用新型所述的一种减少异常开腔次数的离子注入机，包括真空部分和自动传送部分，所述真空部分包括高真空区和通过第一真空隔离阀和第二真空隔离阀设置的缓冲区，所述高真空区内设有工艺反应腔室，所述高真空区内设置有第三真空隔离阀，所述第三真空隔离阀设置在工艺反应腔室与第二真空隔离阀之间，将工艺反应腔室与第二真空隔离阀隔离。

进一步地，所述自动传送装置为旋转手臂。

在高真空区安装第三真空隔离阀，第三真空隔离阀平时处于常开状态，机器的计划性维护时对第三真空隔离阀定期擦拭，清洁。只要当第二真空隔离阀出现关闭不严实时，手动关闭第三真空隔离阀，将高真空区隔开，单独拆卸清理好第二真空隔离阀后，对第二真空隔离阀抽好真空，然后打开第三真空隔离阀，高真空区受影响很小，故障处理加复机时间将由原来的6小时缩短至1小时，很快恢复生产。

本实用新型与现有技术相比，其有益效果是：（1）在处理故障时可以实现工艺反应腔室的缓冲区隔离；（2）缩短因缓冲区与高真空区的阀漏故障问题处理及复机的时间；（3）减少机器的损害，延长机器维护周期时间。

附图说明

图1为现有的真空部分原理简图。

图2为现有的离子注入机的结构示意图。

图3为现有的真空部分有破碎的太阳能电池片硅渣落在第二真空隔离阀处的示意图。

图4为本实用新型所述的真空部分原理简图。

图5为本实用新型所述的离子注入机的结构示意图。

图中：1、第一真空隔离阀；2、第二真空隔离阀；3、缓冲区；4、高真空区；5、第三真空隔离阀；6、旋转手臂；7、破碎的太阳能电池片硅渣。

具体实施方式

下面对本实用新型技术方案进行详细说明，但是本实用新型的保护范围不局限于所述实施例。