[实用新型]硅片预清洗辅助装置

权利要求书

1.硅片预清洗辅助装置，包括方形板（1），其特征在于：方形板（1）前端面纵向设置有进水孔（3），且上端面竖直设置有出水孔（2），出水孔（2）与进水孔（3）彼此连通。

2.根据权利要求1所述的硅片预清洗辅助装置，其特征在于：它还包括设置在方形板（1）左、右两端的钢棍通孔（4），钢棍通孔（4）从方形板（1）前端面纵向贯穿方形板（1），所述钢棍通孔（4）位于出水孔（2）或进水孔（3）外侧。

3.根据权利要求2所述的硅片预清洗辅助装置，其特征在于：所述钢棍通孔（4）的直径为10-14mm。

4.根据权利要求1所述的硅片预清洗辅助装置，其特征在于：所述方形板（1）为铝板。

5.根据权利要求1所述的硅片预清洗辅助装置，其特征在于：所述方形板（1）的宽度为156mm，长度至少为480mm，厚度为30-40mm。

6.根据权利要求1所述的硅片预清洗辅助装置，其特征在于：所述进水孔（3）共设有四个。

7.根据权利要求6所述的硅片预清洗辅助装置，其特征在于：所述方形板（1）的长度为520mm，且四个进水孔（3）距离方形板（1）左端面的尺寸依次为70mm、140mm、310mm和380mm。

8.根据权利要求1所述的硅片预清洗辅助装置，其特征在于：所述出水孔（2）中心位于方形板（1）横向的中心线上。

9.根据权利要求1或8所述的硅片预清洗辅助装置，其特征在于：所述出水孔（2）直径为10-15mm。