[实用新型]一种掩膜板清洁装置有效
| 申请号： | 201320143056.3 | 申请日： | 2013-03-27 |
| 公开（公告）号： | CN203170641U | 公开（公告）日： | 2013-09-04 |
| 发明（设计）人： | 康玉龙;隆清德;彭川 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B7/04 | 分类号： | B08B7/04 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 黄志华 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 掩膜板 清洁 装置 | ||
1.一种掩膜板清洁装置，其特征在于，包括：
固定掩膜板且使所述掩膜板可竖直放置的翻转部件；
以及，对竖直放置的掩膜板的表面进行清洁的清洁部件。
2.如权利要求1所述的清洁装置，其特征在于，所述翻转部件包括：
至少一对固定所述掩膜板的夹紧部件；
以及，将固定后的所述掩膜板在水平放置与竖直放置之间调整的旋转部件。
3.如权利要求1所述的清洁装置，其特征在于，所述清洁部件包括：
内部形成清洁腔的壳体，在所述清洁腔内设置有掩膜板放置区域；
以及位于所述清洁腔内且安装于所述壳体的成对设置的至少一对喷淋部件，每对喷淋部件分别位于掩膜板放置区域的两侧且相对而置。
4.如权利要求3所述的清洁装置，其特征在于，
所述喷淋部件为一对，各喷淋部件可沿竖直方向滑动的安装于所述壳体；
各喷淋部件的工作行程不小于掩膜板放置区域的高度，各喷淋部件的宽度不小于掩膜板放置区域的宽度。
5.如权利要求3所述的清洁装置，其特征在于，所述清洁部件还包括：位于所述清洁腔内且安装于所述壳体的成对设置的至少一对毛刷部件，每对毛刷部件分别位于掩膜板放置区域的两侧且相对而置。
6.如权利要求5所述的清洁装置，其特征在于，所述毛刷部件为一对，各毛刷部件可沿竖直方向滑动的安装于所述壳体；
各毛刷部件的工作行程不小于掩膜板放置区域的高度，各毛刷部件的宽度不小于掩膜板放置区域的宽度。
7.如权利要求5所述的清洁装置，其特征在于，各毛刷部件转速相同且转动方向相反。
8.如权利要求3-7任一项所述的清洁装置，其特征在于，所述清洁部件还包括：位于所述清洁腔内且安装于所述壳体的成对设置的至少一对风刀部件，每对风刀部件分别位于掩膜板放置区域的两侧且相对而置。
9.如权利要求8所述的清洁装置，其特征在于，所述风刀部件为一对，各风刀部件可沿竖直方向滑动的安装于所述壳体；
各风刀部件的工作行程不小于掩膜板放置区域的高度，各风刀部件的宽度不小于掩膜板放置区域的宽度。
10.如权利要求9所述的清洁装置，其特征在于，各风刀部件的气体喷射口的延伸方向与水平方向具有预设夹角。
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