[实用新型]真空镀膜室内大型工件架用的调心定位机构有效

专利信息
申请号: 201320142590.2 申请日: 2013-03-26
公开(公告)号: CN203212633U 公开(公告)日: 2013-09-25
发明(设计)人: 朱刚劲;朱刚毅;朱文廓 申请(专利权)人: 肇庆市腾胜真空技术工程有限公司
主分类号: C23C14/50 分类号: C23C14/50
代理公司: 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 代理人: 裘晖
地址: 526060 广*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 真空镀膜 室内 大型 工件 心定 机构
【说明书】:

技术领域

实用新型涉及真空镀膜设备领域,特别涉及一种真空镀膜室内大型工件架用的调心定位机构。

背景技术

针对不锈钢板或大型玻璃工件的镀膜,目前的真空镀膜室中,工件架使用时,一般将工件架直接悬挂于真空镀膜室顶部即可。该结构的工件架安装快捷,但工件架底部悬空不固定,而工件架一般较为大型,因此在镀膜工艺中,工件架的旋转容易引起工件架晃动,使工件架或工件与真空镀膜室内的其它机构产生碰撞,影响真空镀膜室的正常运作;工件架的晃动也容易引起工件表面镀膜不均匀,影响工件镀膜质量。

实用新型内容

本实用新型的目的在于克服现有技术的不足,针对大型工件架,提供一种真空镀膜室内大型工件架用的调心定位机构,该调心定位机构的使用可有效减少工件架的晃动,避免工件架或工件与真空镀膜室内其它机构的碰撞,提高工件镀膜质量。

本实用新型的技术方案为:一种真空镀膜室内大型工件架用的调心定位机构,包括定位杆、锥盘和锥盘固定座,定位杆与工件架的底板固定连接,工件架顶部与真空镀膜室的上盖固定连接,锥盘通过锥盘固定座设于真空镀膜室内的底面上,定位杆位于锥盘上方。

所述定位杆设于工件架的底板中心,锥盘设于真空镀膜室的底面中心。

工件架安装完成后,所述定位杆的底端嵌入锥盘的中心。

所述锥盘开口向上,锥盘底部嵌于锥盘固定座上,锥盘固定座通过螺栓锁紧固定于真空镀膜室内的底面上。锥盘开口向上,方便定位杆进入锥盘,定位杆底端再慢慢进入锥盘中心,使工件架的定位方便并且准确。

工件架上还设有多个安装工件用的支撑杆。

为了方便工件架安装,所述真空镀膜室的上盖顶部设有连接车间天车吊索用的固定块。

本真空镀膜室内大型工件架用的调心定位机构用于工件架安装时,其过程是:车间天车吊索通过真空镀膜室上盖顶部的固定块吊住真空镀膜室上盖及工件架,并将真空镀膜室上盖及工件架缓慢下移,使工件架完全进入真空镀膜室内,设于工件架中心的定位杆慢慢进入锥盘后,工件架继续下移直至真空镀膜室的上盖与真空镀膜室相接,定位杆的底端进入锥盘中心孔内,实现工件架的定位。

本实用新型相对于现有技术,具有以下有益效果:

本调心定位机构是针对真空镀膜室内大型工件架的安装而提出的,通过在传统的工件架上增设定位杆及锥盘等组件,锥盘起导向作用,使工件架能快速定心,同时锥盘中心孔又起定心作用,使工件架悬吊端(即底部)得到定心,防止工件架使用时因为旋转而产生晃动,避免工件架或工件与真空镀膜室内其它机构相互碰撞的现象,使工件架结构稳定可靠,有效降低真空镀膜室的故障率;同时,工件架的稳定转动可使工件表面的膜层更均匀,有效提高工件的镀膜质量。

附图说明

图1为本真空镀膜室内大型工件架用的调心定位机构的结构示意图。

具体实施方式

下面结合实施例及附图,对本实用新型作进一步的详细说明,但本实用新型的实施方式不限于此。

实施例

本实施例一种真空镀膜室内大型工件架用的调心定位机构,如图1所示,包括定位杆1、锥盘2和锥盘固定座3,定位杆1与工件架4的底板4-1固定连接,工件架顶部与真空镀膜室5的上盖5-1固定连接,锥盘2通过锥盘固定座3设于真空镀膜室内的底面5-2上,定位杆位于锥盘上方。

定位杆设于工件架的底板中心,锥盘设于真空镀膜室的底面中心。

工件架安装完成后,定位杆的底端嵌入锥盘的中心。

如图1所示,锥盘2开口向上,锥盘底部嵌于锥盘固定座上,锥盘固定座通过螺栓锁紧固定于真空镀膜室内的底面上。锥盘开口向上,方便定位杆进入锥盘,定位杆底端再慢慢进入锥盘中心,使工件架的定位方便并且准确。

工件架上还设有多个安装工件用的支撑杆4-2。

为了方便工件架安装,真空镀膜室的上盖顶部设有连接车间天车吊索7用的固定块6。

本真空镀膜室内大型工件架用的调心定位机构用于工件架安装时,其过程是:车间天车吊索通过真空镀膜室上盖顶部的固定块吊住真空镀膜室上盖及工件架,并将真空镀膜室上盖及工件架缓慢下移,使工件架完全进入真空镀膜室内,设于工件架中心的定位杆慢慢进入锥盘后,工件架继续下移直至真空镀膜室的上盖与真空镀膜室相接,定位杆的底端进入锥盘中心孔内,实现工件架的定位。

如上所述,便可较好地实现本实用新型,上述实施例仅为本实用新型的较佳实施例,并非用来限定本实用新型的实施范围;即凡依本实用新型内容所作的均等变化与修饰,都为本实用新型权利要求所要求保护的范围所涵盖。

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