[实用新型]一种宏观检查装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种基板光斑不均（Mura）的宏观检查装置。

背景技术

平板显示制造行业中，需要针对基板的光斑不均（Mura）进行宏观检查，宏观检查是通过人肉眼在不同颜色的灯光下进行检查。传统的宏观检查设备如图1所示，其由暗室1，观察窗2，可移动和旋转的载台4，光源5以及观察平台6等组成，其中在观察窗2的两侧安装有光栅感应探头。人站立在观察平台6上利用可移动的载台4在不同的角度利用光源5发出不同的光来观察基板在宏观下的色斑或不均。所有的工作皆在暗室1中完成。这种宏观检查装置需要人直接面对基板，因此会带来三个问题：a.人员和基板间无隔离装置，人体污染会直接影响基板，导致产品良率下降；b.在观察到Mura之后，人员需要去手动量测Mura所在位置，更会污染基板；c. 另外因Mura的不定型态，并且很难用相机拍照，一般情况都是采用纸张手动记录Mura，不利于异常调查。

为解决上述问题，如图2所示，改进后的设备在观察窗2的左右安装光栅感应探头3，在设备顶端和侧面安装风机滤器单元7（FFU），其中安装FFU的位置并不局限于图中所示位置，可以在任意不影响设备运作的位置安装，其中风速略大于人所站立的观察平台6所在位置，因此风向为从设备内部吹向观察平台6，避免人体污染基板；另外，当人员试图穿过观察窗2对基板进行动作时，光栅感应探头3会发出警报，表示人员动作超出动作范围。但这种装置实际效果不大，经实际生产线证实基本上经过改进后的宏观检查装置的基板良率仍会降低2~5%。

中国专利CN101004557A公开一种具有宏观检测的显影装置，其在宏观检查装置与显影装置之间设置安全门，为了防止药液对宏观检查设备的污染。但是其在检查的时候还是将安全门打开后再进行检测，其仍然无法避免人员污染基板的问题。

发明内容

为此，本实用新型所要解决的技术问题在于现有用于检查色斑不均的宏观检查设备不能防止检查人员污染基板的问题，提供一种能够避免检查人员污染基板的宏观检查装置。

为解决上述技术问题，本实用新型公开一种宏观检查装置，其包括暗室和观察室，所述观察室内设置用于放置基板的载台，以及安装于所述观察室顶部的光源，所述观察室与所述暗室之间设置观察窗，所述观察窗处安装抗反光透明玻璃。所述抗反光透明玻璃可以从市场购得，本实用新型选用抗反光玻璃 (例如上海赢赛实业有限公司、AGC、NEG、Corning等公司的纳米抗反光玻璃产品)。

优选的，所述观察窗处安装抗反光透明玻璃门。

上述宏观检查装置中，在所述载台边缘设置标尺，所述标尺具有横纵坐标。

所述宏观检查装置还包括控制平台，所述控制平台具有手写输入功能的计算机。

上述宏观检查装置中，所述观察窗的左右两端安装光栅感应探头。

本实用新型的上述技术方案相比现有技术具有以下优点：

（1）本实用新型通过在观察窗上安装透明玻璃的方式，避免了人员污染观察室内的基板；因此，该宏观检查装置可以不用安装FFU设备，减少设备投资成本；并且选用不反光特性的透明玻璃，可以避免因玻璃反射设备顶端的光源而影响观察效果。

（2）本实用新型在观察室的载台上安装标尺，这可以使观察人员发现Mura时，直接从标尺得到其异常坐标，避免观察人员直接测量而导致的污染，并且，增加手写输入功能，直接在PC机上输入Mura所在位置和形状，便于日后异常调查。本实用新型在基本不增加或增加极少成本的情况下，改善人员污染和Mura记录问题。

附图说明

为了使本实用新型的内容更容易被清楚的理解，下面根据本实用新型的具体实施例并结合附图，对本实用新型作进一步详细的说明，其中

图1      是现有的宏观检查装置示意图；

图2      是现有的改进后的宏观检查装置示意图；

图3   是本实用新型的宏观检查装置示意图；

图4   是本实用新型的宏观检查装置的俯视图。

图中附图标记表示为：

1-暗室，2-观察窗，22-玻璃门，3-光栅感应探头，4-载台，5-光源，6-观察平台，7-风机过滤器单元，8-观察室，9-标尺。

具体实施方式