[实用新型]多晶硅铸锭炉氩气环流排杂装置

权利要求书

1.一种多晶硅铸锭炉氩气环流排杂装置，它包括：C-C热场上(1)、下保温框(5)，氩气导管(2)，石墨护板(3)，石英坩埚(4)，氩气导流板(6)，挡流盖板(7)，氩气主导流筒(8)，其特征在于：C-C热场是由上保温框(1)和下保温框(5)组成的一个密闭可控温度场，氩气导流板(6)与挡流盖板(7)通过C-C螺栓一次性固定于C-C热场上保温框(1)上，在C-C热场保温框(1)的四周，分别设有氩气导管(2)，氩气导管(2)的一端安装在氩气导流板(6)与挡流盖板(7)中间，另一端穿通上保温框(1)，石墨护板(3)与石英坩埚(4)组合置于C-C热场下保温框(5)上，氩气主导流筒(8)置于上C-C热场上保温框(1)顶部中心位置，底部呈开口状。

2.根据权利要求1所述的多晶硅铸锭炉氩气环流排杂装置，其特征是：氩气导管(2)为一通管，均布在在C-C热场上保温框(1)的四周，每个面6个，共24个。