[实用新型]一种新型多晶硅还原炉自动升降电加热器有效
申请号: | 201320139404.X | 申请日: | 2013-03-11 |
公开(公告)号: | CN203200030U | 公开(公告)日: | 2013-09-18 |
发明(设计)人: | 张玉泉;胡俊辉;薛涛;李波;陈进阳 | 申请(专利权)人: | 陕西天宏硅材料有限责任公司 |
主分类号: | C01B33/035 | 分类号: | C01B33/035 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 712000 陕西*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 新型 多晶 还原 自动 升降 加热器 | ||
一、技术领域
本实用新型涉及一种新型多晶硅还原炉自动升降电加热器,用于改良西门子法多晶硅生产还原炉启动时硅芯击穿的预加热阶段。
二、背景技术
目前,国内生产多晶硅还原炉启动时硅芯击穿大致分两种:一种是用高电压将还原炉内硅芯击穿;另一种是使用预加热器对还原炉内部加热至400~500摄氏度,使硅芯温度升高,电阻急聚下降,再施加电压击穿。国内的还原炉预加热器大都采用电阻加热的电加热器方式,由人工通过车间天车来使其进出还原炉。由于人工操作,进出时易发生倾斜或晃动,容易使电加热器碰到还原炉内硅芯导致故障停车。同时人工操作效率低,对还原炉污染大,对安全生产不利。设计一种自动升降电加热器,可以提高工作效率,安全可靠,实用性强。
三、实用新型内容
本实用新型的目的是针对现有的自动升降电加热器的缺陷提供一种新型多晶硅还原炉自动升降电加热器。
本实用新型的目的是这样来实现的:一种新型多晶硅还原炉自动升降电加热器,它由电加热箱、控制箱、外部气源接头、主电源插座和控制电源插座构成,电加热箱主要有电加热管、固定夹板、托盘和连接杆组成,电加热箱内由固定夹板将电加热管固定成一个整体,托盘上预留有固定尺寸的孔,经固定夹板固定成一整体的电加热管固定在托盘的孔内,托盘将整体的电加热管体托住,并经过托盘上连接杆连接到升降导轨上,整体的电加热管体跟随升降导轨的丝杠滚轴上下移动,控制箱由停车抱闸和丝杠滚轴、传送链条、气动马达、升降导 轨、导线导链和两个限位开关组成,电气回路控制电磁阀,使气源驱动带齿轮的气动马达,齿轮通过传送链条带动丝杠滚轴顶部的齿轮旋转,齿轮带动丝杠滚轴滚动,通过丝杠的滚动,来使固定在升降导轨上的电加热管的连接杆和电加热管的电源导线接线端的上下移动;所述的电加热箱中的托盘、连接杆和接线端连接成一体的;所述的导线导链是能跟随电加热管的接线端上下移动的可曲折的线槽,导线导链是一节一节的,当电加热管移动到电加热箱底部时,导线导链也跟随一节一节弯曲到控制箱底部;在控制箱内还设有一内壁,在内壁的顶部和底部分别安装有两个限位传感器,控制箱内的内壁,将电气回路和气动回路与电加热箱和导轨部分隔离;本自动升降电加热器共引出三个接头分别为外部气源接头、主电源插座和控制电源插座。
本实用新型解决的其技术问题是:
一、解决了电加热管的电源线与灯管同时移动的难题,实现了通过电气回路(5)控制气动回路,在通过气动控制回路(16)来控制电加热管体的自动升降。
二、通过控制箱(B)的内壁(C)将电气回路(5)和气动回路(16)与电加热箱(A)隔离开,提高了设备的安全性。
三、本自动升降电加热器是一个完整的整体,减少了灰尘和有害酸性物质的腐蚀,大大提高了自动升降电加热器寿命和洁净度。
四、电加热器的自动升降系统,避免了电加热管体的倾斜接触硅芯导致的还原炉故障停车,同时提升了操作人员的安全性。
四、附图说明
附图1是本实用新型的整体的结构示意图。
其中:
1---电加热管,2---固定夹板,3---托盘,4---连接杆,5---电气控制回路,6---停车抱闸,7---丝杠滚轴,8---传送链条,9---限位开关,10---气动马达,11---导线导链,12---控制电源插座,13---主电源插座,14---外部气源接口,15---升降导轨,16---气动控制回路,17---吊环,A---电加热箱,B---控制箱,C---内壁,D---接线端。
五、具体实施方式
下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。
参照附图,本实用新型一种新型多晶硅还原炉自动升降电加热器,它由电加热箱A、控制箱B、外部气源接头14、主电源插座13和控制电源插座12构成,电加热箱A主要有电加热管1、固定夹板2、托盘3和连接杆4组成,电加热箱A内由固定夹板2将电加热管1固定成一个整体,托盘3上预留有固定尺寸的孔,经固定夹板2固定成一整体的电加热管1固定在托盘3的孔内,托盘3将整体的电加热管体托住,并经过托盘3上的连接杆4连接到升降导轨15上,整体的电加热管体跟随升降导轨15的丝杠滚轴7上下移动,实现预加热器的自动升降。
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