[实用新型]蓝宝石衬底贴蜡装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种光电子信息技术领域的贴蜡装置，尤其是一种蓝宝石衬底贴蜡装置。

背景技术

新一代半导体材料氮化镓（GaN）基发光半导体（LED）具有响应速度快、寿命长、耐冲击、抗震以及高效节能等优异特性。

其制作的白色固态光源体积小、重量轻、寿命长，具有许多之前的照明方式所不可比拟的优点。在氮化镓基LED及其他光电子器件的制作过程中，需要使氮化镓在蓝宝石衬底上进行均匀的外延生长。蓝宝石衬底的组成为氧化铝（Al₂O₃），其晶体结构为六方晶格结构，是地球上硬度仅次于金刚石的晶体。人们通常通过对蓝宝石衬底晶片进行抛光来控制衬底晶片的机械参数。

对蓝宝石衬底晶片抛光的过程中，需将晶片固定于保持件之上。当前的晶片保持方式可分为两种：有蜡抛光和无蜡抛光。其中无蜡抛光相对有蜡抛光节约了贴蜡卸蜡的过程，缩短了工时，提高了生产效率。但其保持件对机械精度要求极高，成本高昂，且由于抛光过程中晶片高速自转，边缘的去除量通常远大于晶片中心的去除量，难以对晶片的表面平整度进行有效控制。因此，相对有蜡抛光工艺而言，其普及度不高，而有蜡抛光相对则得到了更广泛的应用。

在蓝宝石衬底有蜡抛光工艺中，待抛光的衬底晶片通过蜡的粘结而固定于晶片保持件之上。因此，在固定晶片时需对晶片进行加热，从而使蜡融化，方便进行贴蜡操作。贴蜡结束之后又需对晶片保持件进行冷却处理，使晶片牢牢固定，防止在抛光过程中晶片飞出造成事故。通常的晶片保持件采用陶瓷材料制作，相对于其他材料，易于加工的陶瓷材料在抛光过程中具有耐酸碱、抗腐蚀、坚固、耐磨、耐高温、无锈、无害、表面光洁等等优点，难以用其他材料替代。然而陶瓷材料却在贴蜡过程中容易因快速的升温和降温而导致碎裂。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是提供一种结构简单的蓝宝石衬底贴蜡装置。

为了解决上述技术问题，本实用新型提供一种蓝宝石衬底贴蜡装置，包括支架；所述支架上设置有贴蜡装置、冷却装置和加热装置；贴蜡装置包括隔离板，所述隔离板上方设置有晶片保持件；所述加热装置包括加热台；所述冷却装置包括冷却台。

作为对本实用新型的蓝宝石衬底贴蜡装置的改进：相对应于隔离板的形状，在加热台和冷却台上分别设置有隔离板放置槽。

作为对本实用新型的蓝宝石衬底贴蜡装置的进一步改进：所述晶片保持件上设置有晶片放置凹槽。

作为对本实用新型的蓝宝石衬底贴蜡装置的进一步改进：所述晶片保持件上方设置有加压装置。

作为对本实用新型的蓝宝石衬底贴蜡装置的进一步改进：所述隔离板为使用铝、铜或者铁制成的隔离板，晶片保持件为使用陶瓷制成的晶片保持件。

作为对本实用新型的蓝宝石衬底贴蜡装置的进一步改进：所述隔离板的厚度为一毫米。

作为对本实用新型的蓝宝石衬底贴蜡装置的进一步改进：所述冷却台内设置有冷却水空腔，所述冷却台上设置有冷却水进口和冷却水出口，所述冷却水进口和冷却水出口分别与冷却水空腔贯穿连通。

本实用新型的蓝宝石衬底贴蜡装置采用了隔离板的模式，通过隔离板将加热台的温度稳定且均匀的传递到晶片保持件中，以对晶片保持件中的蜡进行均匀的融化，避免因晶片保持件受热不均匀，而造成某些部位的蜡溶解不够充分的问题。且通过隔离板减缓热传递的速度，使得晶片保持件能够承受温度的缓慢变化，保持晶片保持件的使用寿命，而在冷却的时候，冷却台与晶片保持件进行热交换，通过隔离板的间隔，减缓热交换的过程，使得晶片保持件不会在加热后，突然的被冷却，避免了加热后突然冷却而导致的晶片保持件破裂等问题。

附图说明

下面结合附图对本实用新型的具体实施方式作进一步详细说明。

图1是本实用新型的蓝宝石衬底贴蜡装置的主要结构示意图。

具体实施方式

实施例1、图1给出了一种蓝宝石衬底贴蜡装置，包括支架、贴蜡装置、加热装置和冷却装置；贴蜡装置包括隔离板101、晶片保持件103和加压装置106；加热装置包括加热台104，冷却装置包括冷却台105。