[实用新型]一种涂布系统有效
申请号: | 201320135864.5 | 申请日: | 2013-03-22 |
公开(公告)号: | CN203140244U | 公开(公告)日: | 2013-08-21 |
发明(设计)人: | 余忠兴;徐先华;尹冬冬;李志强;王志强;郑翔;王文须 | 申请(专利权)人: | 合肥京东方光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司 |
主分类号: | B05C5/00 | 分类号: | B05C5/00;B05C11/10;B08B3/08 |
代理公司: | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人: | 彭瑞欣;陈源 |
地址: | 230011 安*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 系统 | ||
技术领域
本实用新型涉及液晶显示器中彩膜的制造设备,特别地,涉及所述制造设备中所用到的涂布系统。
背景技术
图1和图2中所示的是生产液晶显示器中的彩膜(即,Color Filter,CF)时所用到的涂布系统的示意图。其中,图1是涂布系统的主视图示意图,图2是图1中所示的涂布系统的俯视图。该涂布系统包括喷头10和依次排列的预涂布平台20、废液池30和涂布平台50,喷头10可以从预涂布平台20的上方移动至所述涂布平台的上方,预涂布平台20包括安装平台21、设置在该安装平台21上表面上的预涂布板22和可以从该预涂布板22的一端移动至另一端的刮刀(未示出)。
在喷涂光刻胶时,喷头10从预涂布平台20的一侧开始移动并向预涂布板22上喷涂光刻胶。随后喷头10移动经过废液池30,到达所述涂布平台时,喷头10喷涂的光刻胶比较均匀。
向预涂布板22上喷涂光刻胶的过程称为预涂布。预涂布完成后,所述刮刀从预涂布板22的一端移动至该预涂布板22的另一端,将预涂布板22上的废液刮除,并将该废液导流至废液池30内。废液池30底部设置有排液孔,该排液孔和排液管连通,以将废液引导至废液池30外部。
通常,预涂布板22是通过安装平台21上的真空吸附孔吸附在安装平台21上的,可是在利用所述刮刀刮除预涂布板22上的废液的过程中,废液非常容易残留在预涂布板22的边缘上,从而被抽真空系统吸入抽真空管路中或者粘附在预涂布板22的背面,并因此导致预涂布板松动或者高低不平,需频繁进行水平度校准。
因此,如何防止光刻胶废液被抽真空系统吸入真空管路中成为本领域亟待解决的技术问题。
实用新型内容
本实用新型提供一种涂布系统,利用该涂布系统进行预涂布的过程时,光刻胶不会残留在预涂布板的边缘上,从而不会被吸入抽真空系统的真空管路中。
为了实现上述目的,本实用新型提供一种涂布系统,所述涂布系统包括喷头和依次排列的预涂布平台、废液池和涂布平台,所述喷头能够从所述预涂布平台的上方移动至所述涂布平台的上方,所述预涂布平台包括安装平台、设置在所述安装平台上表面上的预涂布板和能够从所述预涂布板的第一端移动至第二端的刮刀,其中,所述预涂布板的第二端设置有向上延伸的第一挡板。
优选地,所述预涂布板的两侧分别延伸超过所述安装平台的两个侧面,且所述预涂布板的两侧中的至少一侧设置有向下延伸的第二挡板。
优选地,所述预涂布板的两侧中靠近所述废液池的一侧延伸至所述废液池的上方,所述预涂布板的两侧中的另一侧设置有所述第二挡板。
优选地,所述废液池的深度从一端至另一端逐渐增加,所述废液池的较深的一端的侧壁底部设置有与所述废液池外部相通的排液孔。
优选地,所述排液孔为多个,多个所述排液孔沿所述废液池的宽度方向均匀分布。
优选地,所述涂布系统还包括能够提供清洗液的清洗装置,所述废液池的较浅的一端的侧壁上设置有进液孔,所述清洗液通过所述进液孔进入所述废液池中。
优选地,所述清洗装置包括与所述进液孔连通的清洗液供应管,所述清洗液供应管上设置有第一开关阀。
优选地,所述进液孔为多个,多个所述进液孔沿所述废液池的宽度方向均匀分布。
优选地,所述清洗液供应管包括进液管和与该进液管连通的多个分配管,所述分配管与所述进液孔一一对应,且所述第一开关阀连接在所述进液管和所述分配管之间。
优选地,所述清洗装置还包括第二开关阀和控制空气供应管,所述第一开关阀为气动阀,所述第一开关阀的控制口与所述控制空气供应管相连,所述第二开关阀设置在所述控制空气供应管上,以控制所述空气供应管的通断。
通过在预涂布板上设置第一挡板可以防止利用刮刀刮出预涂布板上的光刻胶时,光刻胶不会残留在预涂布板的边缘上,从而可以防止光刻胶被吸入抽真空系统的真空管路中。
附图说明
附图是用来提供对本实用新型的进一步理解,并且构成说明书的一部分,与下面的具体实施方式一起用于解释本实用新型,但并不构成对本实用新型的限制。在附图中:
图1是现有的涂布系统的一部分的主视图示意图;
图2是图1中所示的涂布系统的一部分的俯视图示意图;
图3是本实用新型所提供的涂布系统的一部分的主视图示意图;
图4是图3中所示的涂布系统的c-c剖视图;
图5是图3中所示的涂布系统的一部分的俯视图示意图;
图6是图3中所示的涂布系统的一部分的A-A剖视图;
图7是图3中所示的涂布系统的一部分的B向视图。
附图标记说明
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