[实用新型]一种倒装键合设备中用于各向异性导电胶的热压装置有效

专利信息
申请号: 201320134791.8 申请日: 2013-03-22
公开(公告)号: CN203205388U 公开(公告)日: 2013-09-18
发明(设计)人: 陶波;朱钦淼;程小明;潘卫进;薛天骋;汤朋朋;罗冲;冯梦丹;洪洋;胡越;周鹏;张阳 申请(专利权)人: 华中科技大学
主分类号: H01L21/603 分类号: H01L21/603
代理公司: 华中科技大学专利中心 42201 代理人: 李佑宏
地址: 430074 湖北*** 国省代码: 湖北;42
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摘要:
搜索关键词: 一种 倒装 设备 用于 各向异性 导电 热压 装置
【权利要求书】:

1.一种热压装置,用于倒装键合设备中对导电胶进行热压,其特征在于,该热压装置包括:

压头组件(2),用于对导向胶进行热压;

导向组件(1),其设置在一支撑基座(4)上,所述压头组件(2)设置在该导向组件(1)上,所述压头组件(2)通过该导向组件(1)进行导向移动以完成热压;

驱动组件(5),其设置在所述导向组件(1)一侧,用于驱动所述导向组件(1)直线移动,以实现其对压头组件(2)的导向移动。

2.根据权利要求1所述的一种热压装置,其中,所述的导向组件(1)包括用作支撑架的U型板(102)和可随该U型板(102)移动的转接板(103),所述压头组件(2)与所述转接板(103)连接,所述驱动组件(5)通过驱动所述U型板(102)和转接板(103)移动,进而实现驱动所述压头组件(2)移动。

3.根据权利要求2所述的一种热压装置,其中,所述U型板(102)包括位于中间的背板和垂直设置在该背板两端的挡板,其中该背板上固定设置有直线滑轨(105)和可相对该直线滑轨(105)滑动的滑块(106),所述转接板(103)与该滑块(106)固定连接,所述转接板(103)通过该滑块(106)实现随该U型板(102)移动。

4.根据权利要求3所述的一种热压装置,其中,所述的导向组件(1)还具有光轴(104),其为对称布置的且与所述直线滑轨(105)轴线平行的两根,各光轴(104)的一端均固定在上述U型板(102)的其中一个挡板上,另一端穿过所述转接板(103)上的孔后伸出,所述转接板(103)可相对所述光轴(104)轴向移动,用于在转接板(103)带动压头组件(2)移动时对其导向。

5.根据权利要求4所述的一种热压装置,其中,所述的两光轴(104)上分别套接有弹簧,弹簧一端抵接在转接板(103)侧面,另一端抵接在光轴(104)固定端的挡板上,用于压头组件(2)在热压时进行缓冲并推动所述转接板(103)和滑块(106)沿所述直线滑轨实现(105)反向移动。

6.根据权利要求5所述的一种热压装置,其中,所述的导向组件(1)还具有一阶梯轴(101),其直径较小的一端穿过上述U型板(102)的另一个挡板后与所述转接板(103)固定连接,用于对所述转接板(103)的反向移动进行导向。

7.根据权利要求6所述的一种热压装置,其中,所述的阶梯轴(101)上也套接有弹簧,用于所述转接板(103)的反向移动时进行缓冲,并可通过该弹簧实现对所述转接板(103)的预紧。

8.根据权利要求1-7中任一项所述的一种热压装置,其中,所述压头组件(2)包括连接板(202),固定设置在该连接板(202)下部的上连接块(203),与所述上连接块(203)通过隔热板(207)隔热连接的下连接块(206),所述连接板(202)内容置有磁铁(201),其用于与转接板(103)下端磁性连接,所述下连接块(206)下端设置有压头。

9.根据权利要求1-7中任一项所述的一种热压装置,其中,所述驱动组件(5)优选为单轴机器人。

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