[实用新型]一种带清洗、吹干装置的蚀刻、去膜生产线系统

权利要求书

1.一种带清洗、吹干装置的蚀刻、去膜生产线系统，其特征在于，包括：印刷装置、曝光装置、显影装置、蚀刻装置、清洗装置，所述曝光装置分别与所述印刷装置以及显影装置连接，所述蚀刻装置的后段与所述清洗装置连接，所述显影装置的后段与所述蚀刻装置连接，所述清洗装置的后段与去膜装置连接、所述去膜装置后段与水洗装置连接，所述水洗装置的后段与吹干装置连接。 

2.根据权利要求1所述的带清洗、吹干装置的蚀刻、去膜生产线系统，其特征在于，所述清洗装置与所述去膜装置之间设有膨松装置。 

3.根据权利要求1所述的带清洗、吹干装置的蚀刻、去膜生产线系统，其特征在于，所述清洗装置的外侧设有第一报警装置。 

4.根据权利要求1所述的带清洗、吹干装置的蚀刻、去膜生产线系统，其特征在于，所述水洗装置外侧设有第二报警装置。 

5.根据权利要求1所述的带清洗、吹干装置的蚀刻、去膜生产线系统，其特征在于，在所述印刷装置、曝光装置、显影装置、蚀刻装置以及清洗装置的外侧设有一罩体，所述罩体外侧设有一空气过滤器。 

6.根据权利要求2所述的带清洗、吹干装置的蚀刻、去膜生产线系统，其特征在于，所述清洗装置与所述膨松装置之间设有检测装置。 

7.根据权利要求1所述的带清洗、吹干装置的蚀刻、去膜生产线系统，其特征在于，所述吹干装置为固定式强力吹干装置。