[实用新型]一种网版曝光对准治具有效
申请号: | 201320128638.4 | 申请日: | 2013-03-18 |
公开(公告)号: | CN203311160U | 公开(公告)日: | 2013-11-27 |
发明(设计)人: | 吴晓松;蒋其铭;宋亮峰 | 申请(专利权)人: | 无锡尚德太阳能电力有限公司 |
主分类号: | G03F9/00 | 分类号: | G03F9/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 214028 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 曝光 对准 | ||
1.一种网版曝光对准治具,其特征在于,包括:
基座,用于设置待曝光网版及底版,其上设置有多个定位销,所述待曝光网版边框上设置有与多个定位销相匹配的多个第一定位孔,所述底版上设置有多个对准标记;以及
对准板,其上设置有多个第二定位孔和多个对准孔,所述多个第二定位孔用于与所述多个定位销匹配连接,所述多个对准孔用于通过与所述多个对准标记对准以对准底版与待曝光网版。
2.如权利要求1所述的网版曝光对准治具,其特征在于,所述对准孔的孔径为0.5~3mm。
3.如权利要求1所述的网版曝光对准治具,其特征在于,所述对准标记为十字形或米字形。
4.如权利要求1所述的网版曝光对准治具,其特征在于,所述基座上设置有四个定位销,所述四个定位销沿一正方形排布。
5.如权利要求4所述的网版曝光对准治具,其特征在于,所述对准板为四角星形或正方形,所述对准板包括四个第二定位孔和四个对准孔,所述四个第二定位孔分别位于所述对准板的四个顶角上且分别用于与四个定位销插接,所述四个对准孔沿一正方形排布。
6.如权利要求1所述的网版曝光对准治具,其特征在于,所述待曝光网版上覆盖有待曝光丝网,所述待曝光丝网上涂敷有感光胶,所述底版设置在待曝光丝网和曝光光源之间。
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