[实用新型]平面靶材绑定用加热平台

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种加热装置，具体是指一种平面靶材绑定用加热平台。 

背景技术

靶材与背板的贴合过程中，需要使用加热装置。其中，现有技术中的加热装置的导热板通常采用铝合金板，在靶材的贴合中，特别关键的是加热的速率和均匀性，速率和均匀性保证不好，容易引起靶材（尤其是陶瓷靶材）的内部应力变化，造成靶材开裂；同时，加热时直接将靶材放置在铝合金板上，由于铝合金板是金属，靶材在其上面非常容易刮花，容易给靶材带来损伤，可能造成崩边、缺角或者微裂纹等影响产品品质的情况。 

上述论述内容目的在于向读者介绍可能与下面将被描述和/或主张的本实用新型的各个方面相关的技术的各个方面，相信该论述内容有助于为读者提供背景信息，以有利于更好地理解本实用新型的各个方面，因此，应了解是以这个角度来阅读这些论述，而不是承认现有技术。 

实用新型内容

本实用新型的目的在于避免现有技术中的不足而提供一种平面靶材绑定用加热平台，其不会导致靶材刮花且导热保温效果良好，可保证靶材贴合作业的品质。 

本实用新型的目的通过以下技术方案实现： 

提供一种平面靶材绑定用加热平台，包括支架,支架上设置有绝缘陶瓷板，陶瓷板上装有电阻丝，电阻丝上方从下到上依次设置有导热石墨板、铝合金导热板、柔性导热板、保温罩。

其中，还包括用于测定铝合金导热板温度的热电偶。 

其中，所述热电偶插在铝合金导热板中。 

其中，还包括用于测定柔性导热板表面温度的表面温度计。 

其中，所述保温罩由包裹着保温石棉的薄铝片构成。 

其中，所述支架的四个脚设置有四个带刹车片的万向轮。 

其中，所述万向轮上设置有可以调节水平的螺丝底座。 

本实用新型的有益效果：本实用新型在加热电阻丝上有一层石墨导热板，其导热效果良好，且将一般的电阻丝与铝合金板的小面积面-面接触转变成了石墨板与铝合金板的大面积的面-面接触，使得导热的速度与导热均匀性大大提高，同时铝合金板上再设置一层柔性的导热板，其质地较柔软且导热良好，软性的导热板，用来导热，同时可以防止绑定时硬的铝板对靶材的可能造成崩边、缺角、刮伤或者微裂纹等影响产品的品质的情况。 

附图说明

利用附图对本实用新型作进一步说明，但附图中的实施例不构成对本实用新型的任何限制，对于本领域的普通技术人员，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据以下附图获得其它的附图。 

图１是平面靶材绑定用加热平台的结构示意图。 

具体实施方式

为了使本领域的技术人员更好地理解本实用新型的技术方案，下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步详细的描述，需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请的实施例及实施例中的特征可以相互组合。 

本实用新型的核心在于提供一种平面靶材绑定用加热平台，其不会导致靶材刮花，可保证产品的品质。 

如图1所示，本实用新型所述的平面靶材绑定用加热平台，包括支架1,支架1的四个脚设置有四个带刹车片的万向轮10，方便加热平台的移动，在万向轮的上面有可以调节水平的螺丝底座11，用来调整加热平台的水平。支架1上设置有绝缘陶瓷板，陶瓷板上设置有三组加热的电阻丝2，电阻丝的成本较低，取材方便，属于常见的升温材料，且通过电流加热的电阻丝可以通过一组控制箱9很容易控制其温度的高低。电阻丝2上方从下到上依次设置有导热石墨板3、铝合金导热板4、柔性导热板5、保温罩6。石墨板位于电阻丝上，其导热性良好，且热量分布均匀是理想的导热材料，可以很好的将热量均匀的传递给铝合金板。铝合金板位于石墨板上，电阻丝通电后产生的热量通过石墨板非常好的传递到铝合金板上，在铝合金板上再设置一层柔性的导热板5，其质地较柔软且导热良好。软性的加热板，用来导热，同时可以防止靶材贴合时硬的铝板对靶材的刮伤。 

优选的，还包括用于测定铝合金导热板4温度的热电偶7和用于测定柔性导热板5表面温度的表面温度计8。在铝合金板上钻盲孔，插入热电偶7，热电偶用来测量铝合金板的温度，表面温度计8可以精确测量柔性导热板上的温度。热电偶和表面温度计测量的温度信号输入给控制箱9。 

为了更好的对靶材加热的前期阶段的温度控制和保证热量的尽量少的散失，在柔性导热板5上加装一个保温罩6，所述保温罩6由包裹着保温石棉的薄铝片构成，可以对铝合金加热板起到很到的保温作用。可以在靶材贴合的预升温过程中，保证加热平台空间内温度的稳定性与均匀性。