[实用新型]等离子清洗机

说明书

技术领域：

本实用新型与一体化等离子清洗机有关。

背景技术：

在现有美国Harrick公司的PDC-002型等离子清洗机中，射频负载是采用截面为圆形的导线绕制成的射频线圈。因为是采用截面为圆形的线圈，所以线圈的幅盖面积小，表面积也小，线圈的高频集肤效应较高，因此美国Harrick公司的PDC-002型等离子清洗机工作的最大射频输出功率只有29.6W，清洗效率低，功能单一。在其它类别的等离子清洗机中，因为其电气阻抗各不相同，所以需要采用与射频发生器功率相同的匹配器与之匹配，从而保证将射频发生器所产生功率的大部分都能够耦合到负载上，进而最大限度的利用功率的效用。如果其功率不能够大部分作用到负载上，不仅设备的使用效率低下，而且功率还会返回到射频发生器，从而造成射频发生器的损坏。

实用新型内容：

本实用新型目的是提供一种射频功率损失小，射频线圈的最大输出功率高、样品的清洗效率高，操作简捷，功能多样的等离子清洗机。

本实用新型是这样实现的：

等离子清洗机由射频发生器、射频线圈、清洗工作舱、电源、真空测量单元、射频输出功率调节单元、进气流量控制单元，抽气、放气单元组成。所述射频线圈是采用5000mm长，截面为矩形的纯铜片制成，纯铜片的截面矩形宽10mm；厚0.3mm，纯铜片外配有热缩保护套，射频线圈均匀缠绕在Φ200mm；长200mm的纯有机玻璃管上，清洗工作舱套于该纯有机玻璃管中，射频线圈的头尾连接在所述射频发生器的两只射频管阳极上，射频线圈的中心点连接到电压选择开关处。

本实用新型的射频线圈与射频电路同美国Harrick公司的PDC-002型等离子清洗机传统电路一样，联接在一起构成RLC双稳态振荡电路。该电路具有简单、工作可靠、工作效率高的性能。本实用新型采用创新研制的射频线圈，使设备的最大射频输出功率得到大幅度提高，在射频输出具有高功率的性能下，不仅可用于多种材料的清洗，也能够对高分子材料进行刻蚀。与同类产品比较，通过以上的创新技术，本实用新型在工作中的最大射频输出功率可以达到120W，而已有美国Harrick公司的PDC-002型等离子清洗机在工作中的最大射频输出功率只有29.6W，所以本实用新型具有更高的射频输出有效功率。本实用新型由于是采用宽扁的射频线圈，在同等截面积的情况下，宽扁线圈的表面积最大，从而使射频线圈的高频集肤效应大为降低，射频线圈工作电流也能从50mA左右大幅度的提高到280mA左右，最大射频输出功率也能够从30W左右提高到120W左右，同时因为宽扁线圈环绕所覆盖的面积较普通圆柱形的线圈要大许多，所以能够保证套在射频线圈中的耐热玻璃清洗工作舱内能够产生更均匀、辉光更强的等离子体，从而达到对样品处理的效率更高，更充分。

附图说明：

图1为本实用新型总电路结构框图。

图2为本实用新型射频线圈结构框图。

图3为本实用新型射频线圈横截面图。

具体实施方式：

本实用新型等离子清洗机由射频发生器、射频线圈、清洗工作舱、电源、真空测量单元、射频输出功率调节单元、进气流量控制单元，抽气、放气单元组成。除射频线圈外，其余部分与美国Harrick公司的PDC-002型等离子清洗机结构相同。本实用新型等离子清洗机的射频线圈与射频发生器电路同PDC—002型等离子清洗机电路一样，联接在一起构成RLC双稳态振荡电路。本实用新型射频线圈是采用5000mm长，截面为矩形的纯铜片制成，纯铜片的截面矩形宽10mm；厚0.3mm，纯铜片外配有热缩保护套，将该射频线圈均匀缠绕在Φ200mm；长200mm的纯有机玻璃管上，再将耐热玻璃清洗工作舱套于该纯有机玻璃管中，将射频线圈的头尾连接在所述射频发生器的两只射频电子管阳极上，射频线圈的中心点连接到电压选择开关处。详见图1。

射频发生器：

射频发生器与美国Harrick公司的PDC-002型等离子清洗机一样，采用电子管作为功率元件，克服了半导体晶体管在功率、频率、耐压、可靠性等方面的缺陷。射频线圈与射频发生器构成一个整体，不用配置射频匹配器，其能源的利用率更高，电路结构更简单，工作更可靠。

射频线圈：

与美国Harrick公司的PDC-002型等离子清洗机不一样，在射频线圈中，考虑到高频电流的集肤效应，采用宽薄扁平的纯铜片制作成射频线圈，大幅度的提高了射频线圈工作效率。详见图2和图3。

清洗工作舱：