[实用新型]一种能够提取超纯气体的系统

权利要求书

一种能够提取超纯气体的系统，其特征在于：包括除油设备（5），所述除油设备（5）连接有吸附塔，吸附塔包括相互连接的吸附塔一（7）和吸附塔二（8），且吸附塔连接有除菌过滤器（10），吸附塔一（7）和吸附塔二（8）均与除菌过滤器（10）连接，除菌过滤器（10）连接有氮气缓冲罐（11）。

根据权利要求1所述的一种能够提取超纯气体的系统，其特征在于：所述吸附塔和除菌过滤器（10）之间设置有精过滤器（9），精过滤器（9）同时与吸附塔和除菌过滤器（10）连接，精过滤器（9）同时与吸附塔一（7）和吸附塔二（8）连接。

根据权利要求1所述的一种能够提取超纯气体的系统，其特征在于：所述除油设备（5）连接有冷干机（3），冷干机（3）连接有空压机（1）。

根据权利要求3所述的一种能够提取超纯气体的系统，其特征在于：所述除油设备（5）和冷干机（3）之间设置有粗过滤器一（4），粗过滤器一（4）同时与除油设备（5）和冷干机（3）连接；冷干机（3）和空压机（1）之间设置有粗过滤器二（2），粗过滤器二（2）分别与冷干机（3）和空压机（1）连接。

根据权利要求1至4中任意一项所述的一种能够提取超纯气体的系统，其特征在于：所述除油设备（5）和吸附塔之间设置有空气缓冲罐（6），且空气缓冲罐（6）同时与除油设备（5）和吸附塔连接，空气缓冲罐（6）同时与吸附塔一（7）和吸附塔二（8）连接。