[实用新型]振动元件、振子、电子器件、振荡器以及电子设备

权利要求书

1.一种振动元件，其特征在于，该振动元件具有：

基板，该基板包含：

振动部，其以厚度剪切振动进行激励，包含设置在一个主面上的第1凸部以及设置在相对于所述一个主面处于背面侧的另一个主面上的第2凸部；

至少两级以上的阶梯缘部，它们设置于所述第1凸部和所述第2凸部的与所述厚度剪切振动的振动方向交叉的方向的端部；以及

外缘部，其沿着所述振动部的外缘配置，并且厚度比所述振动部的厚度薄；

设置于所述第1凸部的表面的第1激励电极；和

设置于所述第2凸部的表面的第2激励电极，

在用2以上的正整数i来表示所述阶梯缘部的级数的情况下，

在设第i级的阶梯缘部的沿着所述厚度剪切振动的振动方向的长度为Mx_i、

最外侧的阶梯缘部的沿着所述厚度剪切振动的振动方向的长度为Mx、

第1级的阶梯缘部的沿着与所述厚度剪切振动的振动方向垂直的方向的长度为Mz、

所述激励电极的沿着所述厚度剪切振动的振动方向的长度为Ex、

所述激励电极的沿着与所述厚度剪切振动的振动方向垂直的方向的长度为Ez、

在所述厚度剪切振动的振动方向上振动的弯曲振动的波长为λ时，

满足下式：

－0.2＜（（Mx_i－1－Mx_i）/2－nλ/2）/（λ/2）＜0.2    （1）

－0.2＜（（Ex－Mx）－kλ/2）/（λ/2）＜0.2    （2）

其中，n是正整数，k是整数。

2.根据权利要求1所述的振动元件，其特征在于，

所述阶梯部的级数i为2，

所述正整数n为1，

所述整数k为－1，

并且所述Ex与所述Mx之间存在Ex＜Mx的关系。

3.根据权利要求1所述的振动元件，其特征在于，

所述阶梯部的级数i为2，

所述正整数n为1，

所述整数k为2，

并且所述Ex与所述Mx之间存在Mx＜Ex的关系。

4.根据权利要求1所述的振动元件，其特征在于，

所述阶梯部的级数i为2，

所述正整数n为2，

所述整数k为1，

并且所述Ex与所述Mx之间存在Mx＜Ex的关系。

5.根据权利要求1所述的振动元件，其特征在于，

所述阶梯部的级数i为3，

所述正整数n为1，

所述整数k为3，

并且所述Ex与最外侧的阶梯缘部的沿着所述厚度剪切振动的振动方向的长度Mx之间存在Mx＜Ex的关系。

6.根据权利要求1所述的振动元件，其特征在于，

所述阶梯部的级数i为3，

所述正整数n为1，

所述整数k为2，

并且所述Ex与最外侧的阶梯缘部的沿着所述厚度剪切振动的振动方向的长度Mx之间存在Mx＜Ex的关系。

7.根据权利要求1所述的振动元件，其特征在于，

所述基板是旋转Y切基板，

所述振动部将沿着X轴方向的边作为长边且将沿着Z’轴方向的边作为短边。

8.根据权利要求1～7中任一项所述的振动元件，其特征在于，

在设第1级的阶梯缘部的沿着与所述厚度剪切振动的振动方向垂直的方向的长度为Mz时，

在Ez＜Mz的情况下，满足0.6≦Mz/Z≦0.8的关系，

在Ez＞Mz的情况下，满足0.5≦Mz/Z≦0.7的关系。

9.一种振子，其特征在于，该振子具有：

权利要求1～7中任一项所述的振动元件；以及

收纳所述振动元件的容器。

10.一种电子器件，其特征在于，该电子器件具有：

权利要求1～7中任一项所述的振动元件；

电子元件；以及

收纳所述振动元件和电子元件的容器。

11.根据权利要求10所述的电子器件，其特征在于，

所述电子元件是热敏电阻、电容器、电抗元件以及半导体元件中的至少任意一种。

12.一种振荡器，其特征在于，该振荡器具有：

权利要求9所述的振子；以及

驱动该振子的振荡电路。

13.一种电子设备，其特征在于，该电子设备具有权利要求1～7中任一项所述的振动元件。