[实用新型]一种温度可控的研磨抛光盘

说明书

技术领域

本实用新型涉及研磨抛光装置技术领域，具体说是一种温度可控的研磨抛光盘。

背景技术

在研磨抛光晶片等薄脆零件过程中，研磨抛光盘和工件的局部接触区域往往会出现高温，有时甚至可达几百度。局部的高温不但会烧伤零件的表面，形成加工变质层，而且会引起零件的局部变形，进而影响其面形精度。

传统的研磨抛光机冷却液由冷却泵从冷却液箱中吸出，经塑料管送到机床前面冷却液控制旋钮，被分为两路，一路由塑料管从床身内腔进入摆轴中心孔穿轴而出，接在气缸压头的管接头上，通过压头球头内孔喷出，为上内喷；另一路由塑料管穿过上、下床身， 主轴下端管接头，由主轴内孔及磨盘上的多个小孔同时喷出为下内喷。在游离磨料研磨抛光机上，这种上下内喷的冷却方式是无法应用的，因为持续喷出的冷却液同时会冲走游离态的研磨抛光磨料，使研磨抛光加工过程无法进行。因此，市场上精度比较高的游离磨料研磨抛光机一般都要求在配有空调系统的环境中使用，但是，空调系统只能保证外界的温度恒定，对研磨盘与工件接触面上的局部高温区却无能为力。

公告号为CN202726714U，公告日为2013年02月13日的中国实用新型专利公开了一种带循环水冷装置的研磨抛光盘，该装置在主轴的上端部固定有下冷却盘，在下冷却盘上固定有上冷却盘，在上、下冷却盘之间开设有一条呈螺旋状的水冷槽，在上冷却盘上固定有研磨抛光盘。该研磨抛光盘工作时，冷却水经水冷槽进水孔进入水冷槽，冷却水在呈螺旋状的水冷槽中循环同时将研磨抛光盘加工时产生的热量吸收，然后经水冷槽出水孔流出，该研磨抛光盘冷却回路不经过研磨盘表面，冷却液不会冲走研磨液，故不影响游离研磨抛光加工过程。但该水冷装置的缺点包括：1、水冷槽呈螺旋状，且仅有一个水冷槽进水孔和出水孔，这将导致水冷接触面积较少、冷却水循环路径较长，从而降低了研磨抛光盘的冷却效率；2、冷却水对研磨抛光盘的冷却是通过上冷却盘间接进行的，导致研磨抛光过程中所产生的热量无法及时被带走；3、该装置没有进行专门温度控制的装置，研磨抛光盘温度的变化不可控。

发明内容

本实用新型的目的是克服现有技术中存在的不足，提供一种冷却效率高、对研磨抛光盘温度的变化进行实时控制，从而提高零件加工成品率和效率的一种温度可控的研磨抛光盘。

按照本实用新型提供的技术方案：一种温度可控的研磨抛光盘，机架面板内转动架设有主轴，沿主轴的回转中心开设有进水管道安装孔，其特征在于：在进水管道安装孔端面上固定设置连接板，连接板伸出主轴外侧部分上卡装有水冷盘，所述水冷盘与主轴间通过螺栓紧固连接，在水冷盘上端固定有研磨抛光盘；所述连接板包括相互连接为一体的上板和下板，在所述下板的回转中心开设有连接板进水入口，在下板上连接板进水入口旁开设回水孔，所述回水孔下端接通进水管道安装孔，在上板与下板之间设有进水通道和出水通道，所述出水通道连通回水孔上端，所述上板上设置有连通进水通道的上板进水口、及连通出水通道的上板出水口；所述连接板进水入口通过管道连接电动球阀，所述电动球阀通过线路连接PLC控制器输出端，所述PLC控制器的输入端连接设置于机架外缘护面上端的测温仪。

作为本实用新型的进一步改进，所述水冷盘上端面均布四个扇形区，所述每个扇形区分别包括第一扇形边和第二扇形边，在第一扇形边及第二扇形边上间隔设置若干水流导向板，并且间隔设置的水流导向板构成回水槽，所述水冷盘进水孔设置在扇形区顶端回水槽内，所述水冷盘出水孔设置在扇形区回水槽的末端处。

作为本实用新型的进一步改进，所述下板的外圆周面与主轴间设置密封圈，上板的外圆周面、上端部与水冷盘间设置密封圈，在水冷盘与研磨抛光盘的外侧连接处设置第一密封圈。

作为本实用新型的进一步改进，所述连接板进水入口处安装进水接头，所述进水接头下端接通设置于进水管道安装孔中的进水管道。

作为本实用新型的进一步改进，所述进水管道安装孔的上段为圆台形，下段为圆柱形。