[实用新型]电化学抛光装置有效
| 申请号： | 201320105120.9 | 申请日： | 2013-03-07 |
| 公开（公告）号： | CN203174217U | 公开（公告）日： | 2013-09-04 |
| 发明（设计）人： | 庄维伟;高永超;程好;杨淑平;蔡渊;贺昱旻 | 申请（专利权）人： | 苏州新材料研究所有限公司 |
| 主分类号： | C25F3/16 | 分类号： | C25F3/16;C25F7/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 常亮 |
| 地址： | 215125 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 电化学 抛光 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种电化学抛光装置，其特征在于，包括：
槽体；
横向穿设于所述槽体的至少一电解槽，该电解槽于所述槽体的两端分别形成入口和出口，待抛光工件横向运动于所述电解槽内；
位于所述电解槽两侧的电极，该电极形成的电场屏蔽于所述电解槽内；
电解液供应管路，连通于所述电解槽，并导引电解液沿所述待抛光工件的表面流动。
2.根据权利要求1所述的电化学抛光装置，其特征在于，所述电解液供应管路导引电解液沿与所述待抛光工件相反的运动方向流动。
3.根据权利要求2所述的电化学抛光装置，其特征在于，所述电解液供应管路连通于所述电解槽的底部，且连通位置靠近所述出口设置。
4.根据权利要求1所述的电化学抛光装置，其特征在于，所述电解液供应管路导引电解液纵向流动。
5.根据权利要求4所述的电化学抛光装置，其特征在于，所述电解液供应管路连通于所述电解槽的顶部，并导引电解液沿竖直方向流动于所述待抛光工件的表面。
6.根据权利要求5所述的电化学抛光装置，其特征在于，所述电解液供应管路包括第一管路和第二管路，所述第一管路和第二管路连通于所述电解槽的顶部且分别形成于所述电解槽的两侧。
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