[实用新型]一种光刻胶回收装置和涂布机有效
| 申请号： | 201320103774.8 | 申请日： | 2013-03-07 |
| 公开（公告）号： | CN203091218U | 公开（公告）日： | 2013-07-31 |
| 发明（设计）人： | 李伟;刘富军;魏崇喜;朱杰 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;北京京东方显示技术有限公司 |
| 主分类号： | B05C11/10 | 分类号： | B05C11/10 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 许静;安利霞 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 回收 装置 涂布机 | ||
【权利要求书】：
一种光刻胶回收装置，其特征在于，包括：
第一容器，用于与光刻胶的出胶口形成密闭空间，以接收光刻胶；
漏气检测单元，用于检测所述第一容器的密闭性。
根据权利要求1所述的光刻胶回收装置，其特征在于，所述第一容器包括槽体和一用于与所述出胶口密闭连接的接口。
根据权利要求2所述的光刻胶回收装置，其特征在于，所述接口为弹性接口。
根据权利要求1‑3任一所述的光刻胶回收装置，其特征在于，所述漏气检测单元包括气源、气管和压力计，所述气源通过气管与第一容器相通，所述气管上设有压力计。
根据权利要求4所述的光刻胶回收装置，其特征在于，所述气管上还设有用于控制所述气管导通和截止的控制阀。
根据权利要求1‑3任一所述的光刻胶回收装置，其特征在于，所述装置还包括一密闭的第二容器，所述第二容器通过管路与第一容器相连接，用于接收第一容器中流出的光刻胶。
根据权利要求6所述的光刻胶回收装置，其特征在于，所述第二容器具有一与外界相通的排气口。
根据权利要求7所述的光刻胶回收装置，其特征在于，所述排气口中设有单向阀。
一种涂布机，其特征在于，包括权利要求1‑8任一所述的光刻胶回收装置。
根据权利要求9所述的涂布机，其特征在于，所述涂布机还包括一涂布头，所述涂布头上设置有出胶口。
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