[实用新型]一种真空设备用动密封装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种真空设备，尤其涉及一种传动用真空密封装置。 

背景技术

现有的真空设备的传动结构为机械式的密封方式，密封圈很容易损坏，需要经常更换，给使用带来了不便，同时影响真空设备正常工作和密封件的使用寿命；密封圈为橡胶或聚氨酯，运动时容易和传动轴发生摩擦而磨损、而且传动轴经常发热，传动的效率低。另外密封结构为分体式结构，使用和拆卸都不方便； 

发明内容

本实用新型的目的是提供一种无摩擦、密封性好、寿命长、传动效率高的动密封装置。 

本实用新型的目的可以通过以下措施实现： 

一种真空设备用动密封装置，包括外壳、端盖、传动轴、轴承、极靴及磁流体，其中外壳，极靴和传动轴所构成磁性回路。 

所述动密封装置在工作时在磁铁产生的磁场作用下，把放置在轴与极靴缝隙间的磁流体加以集中，使其形成一个所谓“液体的O型密封圈”，将缝隙通道堵死而达到动密封的目的。 

所述动密封装置的外壳为不导磁材料。 

所述动密封装置的壳体配合安装有端盖和磁极。 

所述动密封装置，通过传动轴将来自真空腔体外的减速器的运动传到真空腔体内，并通过拨盘实现所要执行运动。 

所述动密封装置的传动轴上安装有测速齿轮。 

所述动密封装置与真空设备和连接座的安装结合面处都设有密封圈。 

本实用新型与现有技术相比具有以下优点： 

1、本实用新型采用磁流体密封技术，工作可靠性高、极限真空度高、零泄漏。 

2、无摩擦、发热量小、效率高，同时有效延长规范了密封装置的工作寿命。 

3、从低速到高速，从低压到高压，从室温到高温，本实用新型均能满 足各种设备的要求，所以有很高的适应性。 

4、本实用新型与真空设备的连接采用整体组装式结构，并在连接座和真空室的结合面安装了密封圈进行静密封，并通过螺栓联接使其安装到真空设备上，拆卸方便。 

附图说明

图1为本实用新型的剖面结构图 

1-壳体；2-轴承；3-端盖；4-传动轴；5-磁极；6-磁流体； 

7、8-密封圈；9-挡圈；10-测速齿轮；11-连接座；12-减速器 

13-测速传感器；14-拨盘 

具体实施方式

一种真空设备用动密封装置，包括外壳1、轴承2、端盖3、传动轴4、磁极5、磁流体6、连接座11、测速齿轮10及测速传感器13；外壳有密封槽和通孔，密封槽用于将整个磁流体和连接座的接合面进行静密封，通孔可以将该磁流体装置与连接座通过内六角螺栓联接到一起；测速齿轮安装在传动轴上，用于测量传动轴的转速；工作时在磁极产生的磁场作用下，把放置在轴与极靴缝隙间的磁流体加以集中，使其形成一个所谓“液体的O型密封圈”，将缝隙通道堵死而达到动密封的目的。整个密封装置都装在连接座11上，所述连接座和所述外壳的间隙有密封圈8进行静密封，最后通过螺栓连接到真空腔体上，拆卸方便。